流化床立式管式炉炉管为高纯石英管，炉管内部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔径可单独定制。.粉末可放在多孔石英板上，气体可从炉管下端通入，通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域，进行沉积实验
用途范围：
SGM 实验室流化床管式炉系统是一款流化床立式管式炉，专门针对粉末表面沉积的CVD实验。反应气体和均匀地通过反应区固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内炉体设计为开启式，当实验结束后，可将炉体打开，拿出石英管，取出反应后的颗粒。
注意：在通入气体悬浮起样品颗粒时，也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区，所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量等
主要技术参数：
| 电炉名称 | 带超声雾化的流化床管式炉 |
| 基本参数 | 设计工作温度：1100℃； 设计升温速率：≤20℃/min； 加热区：200mm（单温区） 电压：AC 220V单相, 50/60 Hz ； |
| 炉体结构 | 双层壳体结构并带有风冷系统 炉体设计为开启式，以方便放样和取样 采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料，并且表面涂有美国进口1760度高温氧化铝涂层，可延长仪器使用寿命和提高加热效率 |
| 加热元件 | 掺钼铁铬铝合金 |
| 加热炉管 | 包含一异型石英管 炉管尺寸：两端：25 mm O.D，22 mm I.D 中间：50 mmO.D，44 mm I.D 详细尺寸请点击左图查看） 中间区域的大尺寸确保了物料高的气动性 |
| 多孔石英板 | 孔径：5~15 um 尺寸：22mmO.D x 4mm厚 |
| 密封法兰 | 底部法兰：常规设计1”不锈钢真空法兰，配备1/4”进气口用于悬浮气体进入 顶部法兰：特殊设计的1”法兰，可实现前驱体气体或逆流气体的进气和出气，请点击图片查看详情。 |
| 可选配件 | 多路气路系统可用于气体控制 氧分析仪：氧分析仪可安装在系统中用于检测气体中的氧含量从而防止或减少CVD过程中的氧化现象。点击下图了解更多详细信息。 |
| 温控系统 | 可设置30段升温，保温和降温程序。 采用PID方式来调节温度，并带有过热和断偶保护 控温精度：±1℃ |
| 质保期 | 一年保质期，终生维护（不包含炉管、密封圈及加热元件等耗材） |
| 流化区域 | 配有一个2.4MHz超声雾化仪，可将液体雾化成亚微米级液滴引入到加热流化区域进行热解或粉末表面的CVD涂层包覆 固体颗粒被底部通入的向上气体悬浮在加热区内 可提供的热传导及颗粒表面的均匀包覆 炉体设计为开启式，当实验结束后，可将炉体打开，拿出石英管，取出反应后的颗粒。 注意：在通入气体悬浮起样品颗粒时，也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区，所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量 |
| 超声雾化仪 | 220VAC，2.4MHz高频超声波雾化器，可将溶液雾化为亚微米级颗粒 液体罐上涂有氟化物，并采用氟胶密封圈密封 可设置超声仪功率0-99%，每次按5%增加 外部配备有氟化物光学传感器（耐腐蚀）以及阀门来确保内部液面处于合适高度，避免液体量过少 316不锈钢三通，带有1/4英寸转换接头，用于通入载流气体 |
使用注意事项
炉管内气压不可高于0.02MPa
由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，•炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
石英管的长时间使用温度＜1100℃
对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）
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