表面沉降粒子检测仪APMON

APMON表面沉降粒子检测仪的工作原理

检测设备采用一定面积的内置玻璃板承载坠落颗粒，玻璃板以45度角放置，这样坠落的颗粒在玻璃板上沉积的过程就会被全部检测到，APMON检测仪对大于20μm的沉积颗粒的数量和尺寸以及在传感器上的分布位置进行测量，通过测量得出平均颗粒沉积率。

测量的数据能够帮助解决洁净室常规手段监控不到的污染成分，并能帮助优化用户的生产流程。

当产品突发性不良率上升时，首先会怀疑洁净室的空气洁净度，使用尘埃粒子计数器进行检测是常规作法。如果测量结果正常，就要进行更进一步的调查。

通过对表面洁净度和粒子沉降的测量显示很多颗粒的尺寸大于50μm或100μm，而这些大尺寸颗粒的来源通常是操作者和洁净室不洁净的表面，一般尺寸大于25μm的坠落颗粒是不能通过洁净室空气循环系统排出的。

沉降粒子的来源：人员产生粒子、携带高浓度粒子、散发粒子；设备和物料产尘或表面存在粒子；洁净室材料表面存在粒子等，通过改善个人行为、更衣流程、培训、清洁生产加工设备、清洁工具和洁净室，可明显降低不良品率。

APMON表面沉降粒子监测仪主要包括以下部分：

设备主体 传感器

玻璃板托盘

APMON表面沉降粒子检测仪的工作原理：检测设备采用一定面积的内置玻璃板承载坠落颗粒，玻璃板以45度角放置，这样坠落的颗粒在玻璃板上沉积的过程就会被全部检测到，APMON检测仪对大于20μm的沉积颗粒的数量和尺寸以及在传感器上的分布位置进行测量，通过测量得出平均颗粒沉积率。

测量的数据能够帮助解决洁净室常规手段监控不到的污染成分，并能帮助优化用户的生产流程。

APMON表面沉降粒子检测仪的工作原理 主要技术参数如下