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EPX500L 半导体干式真空泵

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称上海赫哲真空设备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号EPX500L
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质代理商
  • 更新时间2025/3/16 7:46:44
  • 访问次数47
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上海赫哲真空设备有限公司是一家依靠德国*技术、*海归工程师团队组成,以真空设备销售和维修为主,集科研开发、工程项目、技术服务于一体的*。

 

  赫哲真空(Hertzian)拥有强大的售后团队,在上海设有专业维修工厂,为客户24小时提供所有销售产品的技术支持及售后服务,公司拥有各种油泵、旋片式真空泵、干泵、机械泵等真空泵的维修保养技术、各类工具和必要的部品,能应客户要求,对客户工厂设置的真空机器、设备提供定期维护、保养服务。

 

  赫哲真空(Hertzian)代理销售世界-意大利DVP,旗下产品有真空泵、真空油品、真空泵配件维修包等相关设备配件材料。

 

  赫哲真空(Hertzian)销售的产品广泛应用于车辆、土木建筑工程、机械、包装、环境保护、医药及医疗器械、石油、化工、食品、光学、电气、电子、原子能、半导体、航空航天、低温、*机械、纺织、造纸、农业以及民用工业等工业部门和科学研究工作中。依托*的质量、*的技术、人性化的管理、多元化的解决方案和服务,以上海为中心辐射到全国各地,深受海内外客户的认可。                          

除提供优质的服务及咨询,并且坚实的后勤工作团队,为客户提供质量及技术的Z佳保证,让客户使用上无后顾之忧,并且为客户解决使用上或应用上问题

  赫哲真空(Hertzian)秉承诚信合作、与时俱进,为新老客户提供优质的产品和服务,欢迎各界朋友前来洽谈合作,共创未来。

真空泵、真空油品、真空泵维修包等相关设备配件
新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能,运行成本更低。EPX500 使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX500L 半导体干式真空泵 产品信息

概述

新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能,运行成本更低。EPX500 使用了的保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。

应用

  • EPX 系列涵盖的应用,从水处理到中度工作负载的制程。
      
    EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

功能和优势

  • 紧凑的占地面积 – 作为可用的工具上泵之一,EPX 节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。
  • 低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式,从而可大化功率效率。
  • 的保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在进气口压力下连续工作。
  • 清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。
  • – EPX 基于经过现场验证的 IPX ,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大约每 5 年维修一次,大程度地延长了泵的使用寿命。
  • 可兼容的网络 - EPX 系列配有终用户控制,可以连接到结构的网络,以进行诊断监视和控制。

数据

峰值速度 500 m3h-1

295 ft3min-1

8338 lmin-1
极限真空

<1 x 10-6 mbar

<7 x 10-7 Torr

<1 x 10-4 Pa
预热时间(达到标称性能) 30 分钟
入口法兰 ISO160
法兰 NW25
噪音 <59 dB(A)
冷却水流速 2 lmin-1
冷却水温度 15 – 35°C
电源供给 200/208 V,50/60 Hz,3 相
极限功率 1.4 kW
电机额定功率 3.0 kW
TIM C3
重量 45.2 kg
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