概述
功能和优势
- 可就地拆除插板和连接机构,便于维修
- 由于采用真空焊制造,消除了泄漏
- 电气抛光的内外表面
- 具有高导电性的紧凑型设计
- 气动执行
- 在气动版上,标配有微开关位置指示器
- 舌簧开关选配型
- 可长期正常使用,很少需要维护
- 振动和冲击小
- 可自由选择方向
数据
压力范围 10-9 mbar 至 1 bar() 8 x 10-10 - 750 Torr 泄漏值 < 10- 9 mbar l s- 1 8 x 10-10 Torr l s- 1 阀板上的大压力差 1 bar / 750 Torr,在任一方向上 打开时阀板上的大压力差 20 mbar/15 Torr 位置指示器开关,分断能力 24 V 直流,5 A 构造材料 主体,阀板 AISI 304 不锈钢 机构 AISI 304 不锈钢, 轴承 淬硬高碳铬钢 簧环 SS PH 15-7 钼 波纹管 AM 350 不锈钢 密封件,阀板 氟橡胶 阀盖 金属密封阀 OFHC 其他阀 氟橡胶 加热温度 阀体,阀打开 150 °C(氟橡胶阀盖密封件) 阀体,阀打开 250 °C(金属阀盖密封件) 阀关闭 200 °C 执行器,气动 100 °C **检修前的平均寿命 100000 次关闭 固定位置 任何方向 气动工作压力 4 - 5.5 bar / 60 - 80 psi 法兰内径 320 mm 12 in 高真空中的电导 39000 l s-1 气动阀短关闭 和打开时间(5 bar 时)。 3 s(关闭),4 s(打开) 大约重量 77 kg
取决于真空环境和打开及关闭速度。
压力范围 | 10-9 mbar 至 1 bar() |
8 x 10-10 - 750 Torr | |
泄漏值 | < 10- 9 mbar l s- 1 |
8 x 10-10 Torr l s- 1 | |
阀板上的大压力差 | 1 bar / 750 Torr,在任一方向上 |
打开时阀板上的大压力差 | 20 mbar/15 Torr |
位置指示器开关,分断能力 | 24 V 直流,5 A |
构造材料 | |
主体,阀板 | AISI 304 不锈钢 |
机构 | AISI 304 不锈钢, |
轴承 | 淬硬高碳铬钢 |
簧环 | SS PH 15-7 钼 |
波纹管 | AM 350 不锈钢 |
密封件,阀板 | 氟橡胶 |
阀盖 | |
金属密封阀 | OFHC |
其他阀 | 氟橡胶 |
加热温度 | |
阀体,阀打开 | 150 °C(氟橡胶阀盖密封件) |
阀体,阀打开 | 250 °C(金属阀盖密封件) |
阀关闭 | 200 °C |
执行器,气动 | 100 °C |
**检修前的平均寿命 | 100000 次关闭 |
固定位置 | 任何方向 |
气动工作压力 | 4 - 5.5 bar / 60 - 80 psi |
法兰内径 | 320 mm |
12 in | |
高真空中的电导 | 39000 l s-1 |
气动阀短关闭 | |
和打开时间(5 bar 时)。 | 3 s(关闭),4 s(打开) |
大约重量 | 77 kg |
取决于真空环境和打开及关闭速度。