RTP-Ⅱ-CSS-200是一款8英寸近距离旋转蒸发镀膜炉，腔体采用高真空不锈钢，此款设备可用于蒸发或CSS镀膜实验，氧化物、半导体或者太阳能基片退火实验，其载样台尺寸为Φ200，顶部载样台可以旋转提高镀膜均匀度。此款高温炉的加热原件是两组红外灯管（分别位于顶部和底部）。升温速率是20℃/S
| CSS
| 型号 | RTP-Ⅱ-CSS-200 | |
| 温度 | 900℃ | ||
| 电源电压 | AC三相380V | ||
| 功率 | 20KW | ||
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腔体结构和真空室
| 双加热器，两个温度控制器，可单独控温 | ||
| 真空腔体采用304不锈钢结构，正前方带有直径100mm的观察窗 | |||
| 真空法兰由304不锈钢制成 | |||
| 腔体尺寸:直径约400 mm，高度约 500mm | |||
| 法兰由硅胶O型圈密封，可通过机械泵实现1Pa的真空压力 | |||
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加热器和样品架
| 两组短波红外灯作为加热原件，用于快速加热 | ||
| 两个加热器之间的距离可在10~60mm之间调节 | |||
| 上下加热器之间配备挡板 | |||
| 上加热器可旋转，转速为0~30rpm | |||
| 加热器由不锈钢制成，带有水冷夹套，可减少热辐射并实现快速冷却 | |||
| 8英寸圆形晶圆支架内置顶部加热器，可装载基板 | |||
| 采用导热率较高的氮化铝板陶瓷片（直径8英寸×0.5mm厚）作为载样台，以达到较好的加热均匀性 | |||
| 两个英国进口欧陆3204数字温度控制器，控温精度±1℃，可独立控制顶部和底部加热器 | |||
| 测温方式 | 两根K型热电偶，一根测上加热台，一根测下加热台 | ||
| 控温方式 | 采用欧陆3204程序控温仪表 1、高精度的温度仪表，LCD液晶显示屏，5位数值显示，通过快速设置配置简单，C/F单位切换 2、1组程序8步，共4组程序 3、具有过温保护 断偶保护，过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过900度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 4、支持各种通讯接口 Modbus, Ethernet, Profibus，Devicenet，可以与任意PLC或上位系统集成 5、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 6、仪表具有温度自整定的功能 欧陆仪表 | ||
| 工作温度 | 每个加热器温度≤900℃，两个加热器之间的温差≤300℃ | ||
| 真空泵 | 机械泵型号:BSV30 | ||
| 抽速：8L/s | |||
| 功率：1.1KW | |||
| 冷水机 CW6200 | 电源 | 3PH-380V/50HZ | |
| 总功率 | 8KW | ||
| 扬程 | 30M | ||
| 冷冻水量 | 2.8m3/h | ||
| 水箱容量 | 110L | ||
| 制冷量 | 13244Kcal/h | ||
| 出入水口 | Rp1/2’’ | ||
| 机器尺寸 | 1300×650×1145(长X宽X高) | ||
真空蒸镀设备主要由真空室和抽真空系统组成，真空室内有蒸发源(即蒸发加热器)、基片及基片架、基片加热器、排气系统等。
将镀膜材料置于真空室内的蒸发源中，在高真空条件下，通过蒸发源加热使其蒸发，当蒸气分子的平均自由程大于真空室的线性尺寸以后，膜材蒸气的原子和分子从蒸发源表面逸出后，很少受到其他分子或原子的碰撞与阻碍，可直接到达被镀的基片表面上，由于基片温度较低，膜材蒸气粒子凝结其上而成膜。
为了提高蒸发分子与基片的附着力，可以对基片进行适当的加热或离子清洗使其活化。真空蒸发镀膜从物料蒸发、运输到沉积成膜，经历的物理过程如下:
(1)利用各种方式将其他形式的能量转换成热能，加热膜材使之蒸发或升华，成为具有一定能量(0.1~0.3eV)的气态粒子(原子、分子或原子团):
(2)气态粒子离开膜材表面，以相当的运动速度基本上无碰撞的直线输运到基片表面;
(3)到达基片表面的气态粒子凝聚形核后生长成固相薄膜;
(4)组成薄膜的原子重组排列或产生化学键合
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