北航集成电路科学与工程学院临界点干燥仪采购公告

招

北航集成电路科学与工程学院临界点干燥仪采购公告

公告日期 2022-10-14
截止日期 2023-01-14
所在地区
北京北京市
所属行业
原料药机械及设备/干燥设备/其它干燥设备

详细信息

1. 采购货物有关信息

设备名称：临界点干燥仪

技术指标：

序号	货物 /服务名称	详细参数要求
1	临界点干燥仪
硬件及性能参数	★3 .1 可满足 4英寸及其以下尺寸晶圆的超临界干燥，配置有 4" HF相容晶圆架，每个支架可放置至少 5片样品，每次运行可以一次性干燥 5片直径为 4 英寸晶圆，也可以使用样品室填块改变样品室直径，满足方晶等不规则片的超临界干燥 ★3 .2 采用外部双 T型0.5μm颗粒过滤器，以及0.08μm内部过滤器系统，确保过滤后的 LCO2到样品室颗粒物直径在 0 .08 μm以内 ★3 .3 配置气液分离器分离乙醇和 CO 2 ，可消除静电，环保 ★3 .4 配置有不少于四个微量型计量阀，精准控制 C OOL 、 FILL 、 PURGE 、 BLEED 、 VENT 步骤的液态和气态二氧化碳流量；可重复操作确保结果的可重复性 ★ 3 .5 通过高清触摸屏控制，操作全自动，每个步骤均有 LED显示 #3 .6 采用垂直样品室，以便于放置样品 # 3.7 样品室底部需有照明灯，样品室盖子需带观察窗，便于观察样品室内部状态 3 .8 温度表范围： - 30 ℃ 至 60 ℃，压力表范围：0 - 2000 psi 3.9 采用集成式固态电子系统，可实现自动控温 3 .10 采用液态二氧化碳降温方式，可快速降低样品室系统温度 3 .11 配置有静态压力控制模块，自动控制系统压力和保持压力稳定性 3 .12 具有慢速充液功能，以保护敏感微电子元件 3.13 设备需简洁、轻巧、经济，为台式自动临界点干燥仪 *是必须满足的重要指标
2	售后服务
售后服务	1. 供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料 2 . 到货后免费由供货方的技术人员到现场免费进行安装调试。安装、调试及试运行后应达到承诺的技术指标，同时提供不少于 1天的使用培训。 3 .质保期：验收之日起至少1年 4. 在质保期内，投标人在接到客户的维修通知能在 24小时内响应， 2 个工作日内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理 5 . 在质保期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按质保期内同样的要求进行维修处理，合理收取维修费。

数量：

序号	产品	数量 /单位
1	临界点干燥仪	1套

交货期：两个月内

交货地点：北京航空航天大学智能微纳公共创新中心

是否接受进口产品：是

2、采购预算（最高限价）：4 0 万元

3、参选单位资格要求：

（ 1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；

（ 2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

① 具有独立承担民事责任的能力；

② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

④ 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

⑤ 参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

⑥ 法律、行政法规规定的其他条件。

（ 3）本项目不接受联合体响应；

（ 4）本项目不允许转包、分包；

（ 5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；

（ 6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。

4、报名方式及截止时间：

报名方式：按照以下要求准备报名信息发送至邮箱 bhsme@buaa.edu.cn 。

邮件标题：公司名称 +采购项目名称；

邮件内容：需注明公司名称，地址，销售人员全名及联系方式；

附件：法人证书扫描件，法人授权书扫描件（含法人及销售人员身份证扫描件），采购需求中列出的相应资质证明，整理为同一个 PDF文件发送。不符合要求者不予接收；

截止报名时间： 202 2 年 10 月 16 日 17 时。

5、竞价会时间及方式：

时间： 202 2 年 10 月 18 日；方式：鉴于疫情影响，采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。

6、参加竞价会所需提供材料：

2022 年 1 0 月 17 日前，参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章，报价单请单独密封）邮寄至以下地址：

地址：北京市海淀区学院路 3 7 号北京航空航天大学学院路校区新北门

李栋老师收，电话： 1 8101269085

7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：

李栋老师，邮箱： s huiguodong@buaa.edu.cn

8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：

邵老师， bhsme@buaa.edu.cn 或 010-82316712（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）

窗体底端

联系方式

免责声明：以上所展示的信息由企业自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责，制药网对此不承担任何保证责任。

商机