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详细介绍
CPPSSZ系列真空加热探针台
名称：真空加热探针台
型号：CPPSSZ32
外形尺寸：450×600×1200mm（加整体焊接支架）
产品应用：晶圆/半导体材料气敏测试，IV,CV,PIV测试，高温无氧化测试等
适用于样品尺寸：低于4英寸
真空获得方式：机械泵抽真空
样品盘加热温度：300℃，温控精度±1℃
测试漏电流精度：100fA
探针调节精度：10微米（也可选择5微米，3微米，1微米精度）
| CPPSSZ系列真空加热探针台配置单 | |
真 空 腔 | 尺寸320×230×210mm，材质优质铝合金，内表面电解抛光，外表面阳极氧化本色 |
| 上盖40直径石英观察窗，可开启，下表面可以和光学平台直接连接 | |
| 配有多个接口，2个KF16,4个KF25,一个备用充气口，一个旋转控制阀门，一个放气阀门口 | |
| 温控样品盘 | 尺寸4英寸，铝合金材质，平面度5微米 |
| 温控仪采用日本岛电温控器，显示精度0.1℃，温控精度±1℃，可达300℃ | |
| 探针座 | 10微米三维调节，可调磁力底座，万向调节夹具，配备美国进口爱默生线和进口三同轴接口 |
| 真空获得以及测量系统 | 采用成都睿宝真空计，安装1个全金属电阻规 |
| 真空泵选择合资机械泵，抽速6L/秒 | |
| 显微镜系统 | 放大倍数7-180倍无级调节，500万像素，搭配8寸显示器，匹配万向调节架和升降台，可以无级调节 |
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