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详细介绍
产品信息：
在实际的科研中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试的探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧，功能实用，成本较低得TDH系列探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，光学底座，探针座，四维调整系统，真空吸附系统；
TDH系列探针台包含有独立的三个精密探针座，可以配合数字源表等完成对三端器件的测试，其可以测试的材料有二极管、晶体管、场效应管、晶圆级器件等等，可以完成对其的I/V、c/v、电阻、电容等参数进行测试。
产品特点：
★结构紧凑，功能实用，质量轻巧，方便移动
★可用于12寸以内样品测试
★兼容高倍率电子显微镜，可360°旋转和微调升降
★漏电流精度：10pA/50fa（屏蔽箱内）
★精密丝杠/燕尾传动结构，线性移动，精密位移，无回程差设计
★应用于高等院校/研究所/公司实验室使用
★1微米以上电极/PAD使用
★模块化设计，可以根据应用增加和去除相应模块
产品应用：
◆LD/LED/PD的光强/波长测试（集成我司光电仪器）
◆材料/器件的IV/CV等特性分析测试
◆晶圆分析测试
技术参数选型：
规格/参数 | |||||||
型号 | TDH-4 | TDH-6 | TDH-8 | TDH-12 | |||
外形尺寸（LWH） | 450×300×355mm | 600×450×355mm | 600×500×355mm | 600×600×355mm | |||
电力需求 | 220VC,50-60HZ | ||||||
样品台 | 尺寸 | 4寸 | 6寸 | 8寸 | 12寸 | ||
行程 | 整体XYZR四维位移，XY行程100mm，Z轴行程13mm，R轴360°旋转可锁紧 | ||||||
移动精度 | 3μm | ||||||
背电极测试功能 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | |||
定制模块 | 可定制位移行程和精度 | ||||||
探针调整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm | |||||
机械精度 | 标配3μm（可以升级/1μm） | ||||||
漏电精度 | 100fA（配置屏蔽箱） | ||||||
安装方式 | 可调磁力吸附/真空吸附 | ||||||
接口形式 | 三同轴（Triax） | ||||||
光学成像 | 放大倍数 | 7-200倍（可升级到720倍） | |||||
CCD像素 | 2000W | ||||||
中心距离 | 140mm，升降范围270mm，总高度350mm | ||||||
显示器 | 12寸显示器，将3-17mm的样品放大到整个屏幕（可升级大尺寸显微镜） | ||||||
可选附件 | 加热卡盘 | 高低温卡盘 | 镀金卡盘 | ||||
隔振支架 | 积分球测试选件 | 屏蔽箱 | |||||
射频测试附件 | 导入光源支架 | 波长单色可调光纤光源（测光电流） | |||||
显微镜调节手动/电动调节装置 | 激光切割显微镜 | 转接头配件 | |||||
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台，以达到更好的使用效果和性价比 | |||||||
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