1微米移动探针座探针调整座

◆主体材质采用不锈钢材质，表面精磨，刚性好，耐腐蚀

◆位移部分采用进叉滚柱导轨，超高精度

◆整体驱动采用精密测微头，定量读数，精确控制

◆整体线性位移，超高稳定性

◆匹配多功能调节探针夹具，旋钮调节固定，大大方便了客户调节探针

◆底部*可调磁性底座，可以通过旋钮调节磁力的有无，磁性吸附5Kg，保证了整个系统的稳定性

◆可以配合高频探针组合RF系列高频探针座

产品应用：
◆特别适用于微米级别大小的样品电极

◆适用于R/F量测、I/O点量测、直流DC测试 、晶圆测试、电阻电压测试、太阳能电池测试、光电流测试、半导体器件分析测试等

技术参数：

◆探针位移行程：XYZ三维分别13mm+180°左右旋转+60°上下倾斜

◆整体结构外形尺寸：290mm×110mm×120mm（LWH）

◆探针整体位移精度：1μm

◆漏电精度：同轴线缆（10pA）

            进口三同轴线缆（100fA）

◆可选接头：同轴线缆可选择BNC、鳄鱼夹、香蕉插头

            进口三同轴线缆只能选择三同轴接口(Triaxial)

◆测量范围：电流：10pA/100fA-10A

            电压：1000V