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WZH系列高温探针台

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更新时间:2021-07-21 22:13:30浏览次数:572

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产品简介

产品简介 :WZH系列高温探针台系统包含:光学成像部分,整体升降底座,高精度探针座,温控系统,真空吸附系统等;可应用于高温环境下被测样品的电学性能测试分析,如:半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMS,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及......

详细介绍

产品信息:
  探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

  创谱仪器研发的高性价比手动探针台,广泛应用于集成电路、三极管、二极管及光电探测器的IV/CV参数等性能测试与表征,是光电科研中*的基本设备。

  WZH系列高温探针台系统包含:光学成像部分,整体升降底座,高精度探针座,温控系统,真空吸附系统等;可应用于高温环境下被测样品的电学性能测试分析,如:半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMS,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LEDLCD/OLEDLD/PDPCBFPC等生产制造领域。是一款功能强大的高性能探针台。

产品特点:
★可测试Wafer尺寸:2英寸-4英寸(还可以升级更大尺寸)

★探针座和样品整体位移,非常方便客户对样品进行同步光电测试

★漏电流精度:100fA,可达10fA

★精密丝杠/燕尾传动结构,线性移动,精密位移,无回程差设计

★应用于高等院校/研究所/公司实验室使用

1微米以上电极/PAD使用

★模块化设计,可以根据应用增加和去除相应模块

★采用进口温控系统,优异的温度稳定性和控温均匀性

产品应用:
LD/LED/PD的光强/波长测试(集成我司光电仪器)

◆材料/器件的IV/CV等特性分析测试

◆晶圆分析测试

技术参数选型:

                                          规格/参数

型号

WZH-4

外形尺寸(LWH)

600mm×600mm×450mm

电力需求

220VC,50-60HZ

样品台

尺寸

4寸(圆形/方形)可以定制更大样品台

行程

XY轴行程50mm;Z轴行程60mm(可以增加旋转功能)

移动精度

XY轴整体1μm;Z轴10μm

背电极测试功能

可以引出电极

真空吸附

搭配进口无油真空泵,7L/min

定制模块

可定制位移行程和精度

温控系统

温控范围

常温-300℃(常温-27K)

控温精度

±0.1℃

控温稳定性

±1℃

控温均匀性

±3℃

探针调整座

XYZ行程

13mm-13mm-13mm

机械精度

1μm

漏电精度

100fA/10fA

安装方式

可调磁力吸附/真空吸附

接口形式

三同轴(Triax)

光学成像

放大倍数

7-200倍(可升级到720倍)

CCD像素

2000W

中心距离

140mm,升降范围270mm,总高度350mm

显示器

12寸显示器,将3-17mm的样品放大到整个屏幕(可升级大尺寸显微镜)

可选附件

镀金卡盘

积分球测试选件

屏蔽箱

隔振支架

导入光源支架

波长单色可调光纤光源(测光电流)

显微镜调节手动/电动调节装置

激光切割显微镜

转接头配件

创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好使用效果和性价比



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