电子束蒸发镀膜机

电子束蒸发镀膜机

电子束蒸发镀膜机

型号：HVC-800DA
厂家：韩国Hanil真空
技术指标:
 （1）可沉积各种金属材料包括难熔金属、绝缘材料的高纯度、高质量薄膜样品. 
 （2）具有高真空(< 2×10^-7 Torr ), 低腔温（<90^oC），适合Lift-Off制程要求.
 （3）可装载标准的2’’和4’’的晶片和不规则大小的样品，样品的均匀性 <3%. 
 （4）设置6个坩锅，可以完成不同金属薄膜的多层沉积.
 （5）配有膜厚仪实时对膜厚进行检测，实现对薄膜的厚度的精确控制。
主要功能及应用范围：
   主要用于光学膜、电学膜以及半导体领域的高质量薄膜的沉积。