6寸手动探针台APS150[T]型

6寸探针台 APS150 DC/HF标准型
可兼容DC测试、射频、高频、微波测试
直流到高频量测范围

产品特点：

与APS系列其它型号相对应,150型适合于6寸晶圆以及同尺寸样品的量测分析,主体台面尺寸可放置多达8个探针座,操作便捷

XY高精度大行程平台调节，Z轴快速升降，U型面板设计，结构稳定

可搭配体式显微镜/高倍率长工作距离视频显微镜/高分辨率金相显微镜、荧光显微镜等…
探针座可根据移动精度选择，吸附方式可选磁吸附或真空吸附

显微镜组件带有XYZ三方向调节装置，配置连接组件，可安装各类显微镜主体

可升级半自动系统

规格：

其它外围组件可选：

* 体式显微镜/高倍率超长工作距离视频显微镜/高分辨金相显微镜
* 真空吸附加热卡盘（温度：200℃/300℃或其它）
* 可选低温制冷卡盘
* 低温罩箱（用于充入氮气低温制冷）
* 客户定制化移动平台
* 气压式显微镜升降调节
* 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线等…
* 低电容、电流探测装置
* 高电压探测装置
* 雷射切割装置
* CCD或C-MOS视频成像装置
* 各类探针夹具
* *真空泵
* 屏蔽箱
* 防振桌
* 适配器
* 转接头
* 电学测试设备
* 升级配置