详细介绍
标准型探针台EPS4 DC/HF
可兼容DC测试、射频、高频、微波测试
直流到高频
产品特点:
结构设计灵巧,价格经济,维护方便
XY平台调节,Z轴快速升降
可搭配体式显微镜或单筒视频显微镜
探针座可根据移动精度选择,吸附方式可选磁吸或真空吸附
产品规格:
组件/型号 | EPS4 |
显微镜配置 | 单筒视频显微镜 倍率4X-350X |
真空吸附卡盘 | 4寸不锈钢 |
主体平台XY移动行程 | 75mm*75mm |
旋转角度 | 0-30O |
Z轴行程 | 5mm |
探针台本体 | 固定式 |
可放置样品尺寸 | 5mm*5mm至4寸 |
真空卡盘平坦度 | 10um |
尺寸 | 350mm*360mm*400mm |
重量 | 20kg |
配置可选项:
* 体式显微镜
* 真空吸附加热卡盘(温度:200℃/300℃或其它)
* 可选择低温制冷卡盘
* 低温罩箱(用于充入氮气低温制冷)
* 客户定制化移动平台
* 各类DC探针、高频探针、电缆线等…
* CCD或C-MOS视频成像装置
* 各类探针夹具
* *真空泵
* 屏蔽箱
* 防振桌
* 适配器
* 转接头
* 电学测试设备
* 可选择安装旋钮式360度载物平台及Z轴高精度微调装置
* 其它外围组
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