详细介绍
可兼容DC测试、射频、高频、微波测试
直流到高频
产品特点:
XY平台调节,Z轴快速升降
可搭配体式显微镜/高倍率长工作距离视频显微镜/高分辨率金相显微镜、荧光显微镜等...
探针座可根据移动精度选择,吸附方式可选磁吸附或真空吸附
显微镜组件带有XYZ三方向调节装置,配置连接组件,可安装各类显微镜主体
产品规格:
组件/型号 | SPS4 |
显微镜配置 | 高倍率金相显微镜 目镜:10X/20X 配置物镜:5X/10X/20X/50X/100X 其它功能可选,详见显微镜参数介绍 |
真空吸附卡盘 | 4寸不锈钢 |
主体平台XY移动行程 | 100mm*100mm |
旋转角度 | 0-30O |
Z轴行程 | 5mm |
探针台本体 | 固定式 |
可放置样品尺寸 | 5mm*5mm至4寸 |
真空卡盘平坦度 | 10um |
尺寸 | 580mm*460mm*245mm |
重量 | 41kgw |
配置可选项:
* 体式显微镜/高倍率超长工作距离视频显微镜/高分辨金相显微镜
* 真空吸附加热卡盘(温度:200℃/300℃或其它)
* 可选低温制冷卡盘
* 低温罩箱(用于充入氮气低温制冷)
* 客户定制化移动平台
* 各类DC探针、高频探针、电缆线等…
* CCD或C-MOS视频成像装置
* 各类探针夹具,*真空泵
* 屏蔽箱,防振桌,适配器,转接头.
* 电学测试设备
* 其它外围组
* 配置升级