详细介绍
6寸方形加热/低温卡盘 TE-150型
与TE-50型 2寸方形卡盘相同,6寸加热卡盘使用热电(致冷)晶片,可搭水冷机或冰水机冷却系统。
参数信息:
方形,尺寸:150x150mm
温度范围-10℃至120℃
热传感器控制
独立的真空通道可放置不同尺寸晶圆样品
面板式控制系统
搭配循环式冷却系统,可与本公司设计的电磁阀开关搭配,可受温控装置控制,操作方便,一体化设计
选型说明:
真空吸附加热、低温卡盘chcuk根据用户高温或低温环境要求提供配置,高温范围可达500℃,选型根据卡盘尺寸,形状,温度范围,冷却装置等选配。