加热致冷卡盘2寸方形-TE-50型-普西工业有限公司

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2寸方形加热/低温卡盘TE-50型使用热电(致冷)晶片，可搭水冷机或冰水机冷却系统

2寸方形加热/低温卡盘 TE-50型

使用热电(致冷)晶片，可搭水冷机或冰水机冷却系统。

其它型号参考：TE-150型6寸方形卡盘

参数信息：

方形，尺寸：50x50mm
温度范围-10℃至120℃
热传感器控制
独立的真空通道可放置不同尺寸晶圆样品

面板式控制系统

搭配循环式冷却系统，可与本公司设计的电磁阀开关搭配，可受温控装置控制，操作方便，一体化设计

选型说明：

真空吸附加热、低温卡盘chcuk根据用户高温或低温环境要求提供配置，高温范围可达500℃，选型根据卡盘尺寸，形状，温度范围，冷却装置等选配。