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详细介绍
光谱共焦线传感器原理图
MPLS-DM包含该了180个独立的光谱共焦通道，每个通道测量样品表面上的单个点，并包含自己的点源，针孔和光谱仪。
在MPLS-DM中，控制器和光学头通过连个光纤束连接。
束将控制器的内部光源连接到镜头的入射面；
180束光纤电缆的成为180个通道点光源。
第二束连接光谱仪输出平面；180根光纤的实现了180个通道的针孔。
STIL光谱共焦线扫传感器技术参数
| 线扫传感器型号 | unit | MPLS-DM NANOVIEW | MPLS-DM WIREVIEW | MPLS-DM MICROVIEW | MPLS-DM DEEPVIEW | MPLS-DM SUPERIEW | ||||
| 线长 | mm | 1.34 | 1.51 | 1.8 | 4.2 | 12.85 | ||||
| 测量范围(2KHZ) | mm | 0.1 | 0.9 | 0.5 | 2.6 | 2 | ||||
| 测量范围(4KHZ) | mm | 0.045 | 0.45 | 0.235 | 1.45 | 0.9 | ||||
| 测量范围(6KHZ) | mm | 0.025 | 0.24 | 0.12 | 0.65 | 0.5 | ||||
| 工作距离 | mm | 7.5 | 7.8 | 10.1 | 19.5 | 11.3 | ||||
| 数值孔径 | 0.75 | 0.75 | 0.5 | 0.37 | 0.33 | |||||
| 样品斜度 | ° | 40 | 46 | 30 | 20 | 17 | ||||
| 光斑间距 | μm | 7.5 | 8.5 | 10.1 | 23.5 | 71.8 | ||||
| 光斑直径 | μm | 2.9 | 3.2 | 3.8 | 8.8 | 27.2 | ||||
| 静态噪音 | nm | 25 | 150 | 100 | 300 | 300 | ||||
| 轴向分辨率 | μm | 0.15 | 0.9 | 0.6 | 1.8 | 1.8 | ||||
| 线性误差 | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.08 | ±0.12 | ±0.12 | ||||
| 均匀性 | nm | 30 | 200 | 125 | 400 | 400 | ||||
| 最小可测厚度 | μm | 18 | 110 | 50 | 250 | 300 | ||||
| 长度 | mm | 434.4 | 480.7 | 425.6 | 428.3 | 397.8 | ||||
| 直径 | mm | 50 | 70 | 50 | 60 | 60 | ||||
| 重量 | g | 1600 | 2200 | 1600 | 2800 | 2550 | ||||
备注：
.测量范围（MR）,表中的数值是一台MPLS的标称值；
.工作距离,是光学头至测量范围开始端之间的距离，表中数值是典型值；
.线性误差,是将传感器测得的距离长度与1nm编码器测得的长度进行比较，观察到的误差。该步骤可位于MR内部任何位置。出厂校准后立刻在如下条件下测量此功能：
-每套通道的测量进行平均，以消除静态噪声;
-信号电平较高，但不饱和;
.样品斜度，光轴和局部表面坡度之间的夹角。可测倾斜角适用于镜面（镜状样品）表面。散射表面，角度可能更大。当倾斜角度增加时，收集信号的强度会减小。该表中的值是镜面上测得的;
.均匀性是由一个MPLS-DM传感器的180个通道在一个对齐平面上测量的值的变化量(RMS)。此功能在工厂校准后立即测量，并具有的条件和设置;
.标配光谱共焦线传感器出厂都是按照2KHZ采样频率标定，如果需要使用4K或者6K采样频率，订货时请提前注明，同时注意采样频率提高后，测量范围会相应变小，详情可参考上面参数;
控制器技术规格
| 控制器 | MPLS-DM |
| 核心原理 | 光谱共聚焦 |
| 光源 | 白色LED灯 |
| 点数 | 180 |
| 采样频率 | 标配200-2000HZ(可达6000HZ，但量程会变小) |
| 位移测量模式 | Highest/First/Second/Third/Fourth/Last Peak |
| 厚度测量模式 | 2-5个波峰 |
| 数据输出 | 以太网口 |
| 同步信号 | Trigger in&out |
| 其它输入/输出信号 | 编码器信号输入 |
| 光纤线长度 | 5m |
| 工作温度 | 5℃-50℃ |
| 存储温度 | -30℃-70℃ |
| 相对湿度 | 5%-80% HR无冷凝 |
| 防护等级 | IP20 |
| 符合标准 | EN61010-1;EN61326-1 |
| 电源 | 100-240V |
| /常用功率 | 120W/70W |
| 外形尺寸(mm) | 448.9*184*497 |
| 重量 | 14.5KG |
STIL光谱共焦线扫传感器测头和控制器外形尺寸
传感器探头外形（详见上述参数表）
控制器外形
STIL光谱共焦线扫传感器的相关软件
线传感器需要配备win7以上操作系统，SDK与传感器一起提供，包括：
-C++动态库源代码
-NET动态库
-“线传感器示例”程序
-传感器用户手册和操作说明
使用"线传感器"，可完成即时任务：
-连接传感器
-保存且加载配置文件
-改变传感器设置（LED强度、测量频率、触发选项...）
-启动测量，观察，保存数据
-执行用于校准
程序已显示模式：“线--线”和"图像",在图像模式下，每个板块的N行线，显示N*180大小的图像
在"Line sensor Example"中显示的"Line view"。180个橙色条表示测量距离，180个黑色条表示测量强度。
在"Line sensor Example"中显示的"Image view"。每个像素的颜色表示高度值。
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