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详细介绍
法国STIL三维表面轮廓测量仪
配置“点”传感器的MICROMESURE2系统
MICROMESURE2系统，配置CCS-Prima,STIL-DUO传感器，是非接触式表面测量的理想工具，包含3D粗糙度，形状测量和3D微观形貌。
MICROMESURE2系统，重复利用了STIL非接触式传感器在各种应用和领域的性能。
与配套的控制器&采集硬件和软件一起交付，MICROMESURE2系统是一套整机，启动后立刻执行（指令）。
借助光谱共焦传感器
- 非接触式尺寸测量
- 纳米和微米分辨
- 白光传感器（无斑点，大测量范围）
- 同轴测量（无阴影）
- 镜面上的高局部斜率（反射式）
- 对环境光不敏感
- 可测金属，玻璃，半导体，陶瓷和其他更多材料
- 透明物体的厚度测量方式
- 具有大测量范围能力（20μm-24mm）
借助高质量的扫描系统
- Z轴0.1μm编码器（系列产品）
- X&YZ轴0.1μm编码器（可选择）
- 低震动
- 正交性和平面度校正
- 透明的作业空间，避免气流震荡
配置线传感器的MICROMESURE2系统
2014年产品：配置了MPLS180线传感器的MICROMESURE2
4个光学头可选：Nano view,Micro View,Deepview,Wire view
专用软件：Line SensorMap
MICROMESURE2系统技术参数
| STIL 3D轮廓测量仪 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 型号 | MIME-3M1R-115 | MIME-3M3R-115 | MIME-3M3R-332 | |||||
| X-Y轴参数 | 行程 | 100mm | 100mm | 300mm | ||||
| 编码器 | 无 | 有 | 有 | |||||
| 位置精度 | 10μm/100mm | 1μm/100mm | 1μm/100mm | |||||
| 位置分辨率 | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm | |||||
| 平面度 | 1μm/100mm | 1μm/100mm | TBA | |||||
| 速度 | 20mm/s | 20mm/s | 20mm/s | |||||
| Z轴参数 | 行程 | 50mm | 50mm | 50mm | ||||
| 编码器 | 无 | 有 | 有 | |||||
| 位置精度 | 1μm/100mm | 1μm/100mm | 1μm/100mm | |||||
| 位置分辨率 | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm | |||||
| 平面度 | 1μm/100mm | 1μm/100mm | 1μm/100mm | |||||
| 速度 | 5mm/s | 5mm/s | 5mm/s | |||||
| 外形尺寸（L*D*H） | 640*612*606（mm） | 640*612*606（mm） | TBA | |||||
| 重量（kg） | 120 | 120 | 250 | |||||
MICROMESURE2系统表面图像处理及采集软件
| 表面图像控制&采集软件 | ||
|---|---|---|
| 采集类型 | 轮廓扫描(X,Y,倾斜物) | |
| 表面扫描 | ||
| 点系列采集 | ||
| 重复测量 | ||
| 混合采集序列 | ||
| 视频图像（如配置摄像机） | ||
| 扫描参数设定 | 体积 | |
| 沿每个轴步进 | ||
| 传感器参数设定 | 高度模式 | |
| 厚度模式 | ||
| 光笔选择 | ||
| 平均 | ||
| 双倍频率（如提供) | ||
| 扫描类型 | 恒定速度（带有间隙补偿） | |
| 恒定速度（前&后） | ||
| 逐步 | ||
| Z following | ||
| 数据存储 | 文件夹选择 | |
| 格式选择(binary,csv) | ||
| 用户监督 | 测量进程 | |
| XY和Z坐标 | ||
| 传感器状态 | ||
| 自动程序 | 硬件归位 | |
| 自动对焦 | ||
| 重定位 | ||
| 检查 | ||
应用类型：
- 形状及纹理分析
- 精密机械检测
- 表面特征分析
- 3D高度和厚度，形貌/轮廓
- 粗糙度测量
- 尺寸测量
应用领域
- 机械（粗糙度，摩擦力，3D计量，腐蚀分析......）
- 玻璃行业(浮法玻璃在线厚度控制，3D计量......)
- 微电子（粗糙度,3D计量，缺陷分析）
- 光学（粗糙度，3D计量......）
- 钟表(平面度，粗糙度，厚度......)
- 核燃料工业(粗糙度，摩擦度，3D计量，腐蚀分析......)
- 航空航天(粗糙度，涡轮形状）
选择：
- 后期处理软件：来自法国图像技术的MountainsMap
- 用于实际3D测量的X&Y轴的线性编码器（位置精度=1μm/100mm）
- 录影机
- 用于更换光笔的简单刀塔或双刀塔
- 减震支架
- 1轴和2轴配置
- X&Y轴行程可达300mm定制
- Z轴行程可达100mm定制
计量工件
- 校准槽(深度为10μm)
- 粗糙度标准(Ra=0.8μm)
- 光学平面（直径=140mm）
- 位移光罩(用于设置录影机偏移)
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