传统型热式质量流量控制器

•M100B/M10MB 质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程范围从10 sccm–50 slm，模拟通讯接口。

•1179A/2179A 橡胶密封质量流量控制器/带截至阀质量流量控制器，其满量程范围从10 sccm – 20 slm

•1479A/179A 金属密封质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程范围从10 sccm – 20 slm。

•ALTA™ 1480A/180A 数字质量流量控制器/质量流量监视器，满量程范围从10 sccm– 30 slm。各种模拟和数字（Profibus、DeviceNet）通讯接口可选。

•ALTA™ MC20A 数字质量流量控制器，满量程范围从20 – 200 slm。模拟和DeviceNet通讯接口可选。

•1559A/558A 大流量质量流量控制器/质量流量监视器，其满量程范围从20– 200 slm，模拟通讯接口。