集成BARATRON® 的压力控制器

piPC90 集成Baratron® 的压力控制器，集成压力显示器，可控制上游或下游压力。满量程范围：1000 Torr – 100psia，控制精度：满量程的±0.2%，通讯接口：DeviceNet、RS-485、模拟。

piPC99 集成Baratron® 的带流量监测的压力控制器，集成压力/流量显示器，可控制下游压力。压力满量程范围：1000 Torr – 100psia，流量满量程范围：10 – 30000sccm，控制精度：满量程的±0.2%，通讯接口：DeviceNet、RS-485、模拟。

640B 压力 / 641B 表读压力集成Baratron® 的压力控制器，可控制上游或下游压力。满量程范围：10 Torr – 100psia，控制精度：满量程的±0.2%。

649B 集成Baratron® 的带流量监测的压力控制器，可控制下游压力。压力满量程范围：10 – 5000Torr，流量满量程范围：10 – 5000sccm，控制精度：满量程的±0.2%。

DPC 双区压力控制子系统。集成了气动隔离阀，双Baratron® 的带流量监测的闭环压力控制器。用于硅片背面氦气冷却系统。