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详细介绍
FPD/LSI检查显微镜
ECLIPSE L300N 反射专用型
ECLIPSE L300ND 透反射两用型
集尼康光学技术于一身的CFI60光学系统，在亮度、对比度和可操作性能方面都达到的高度，适合于大直径硅片或大型液晶板的高级检查。
观察样品:Ø300 mm晶片
观察倍率15X～3000X（视目镜和物镜的组合而定）；
使用CFI60光学系统，*消除耀斑影响，对比度更高，成象更加清晰、明亮；
物镜齐焦距为60mm，可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求；
主机刚性高，具有很好的抗振性能，具有防尘、防污染、防静电功能；
光亮调节、孔径调节、物镜转换等操作都集中在前面，使用方便，即使长期操作也不易产生疲劳；
L300ND/反射.透射照明两用型
| 规格 | ||
| ECLIPSE L300N | ECLIPSE L300ND | |
| (落射照明型） | （透射/落射照明型） | |
| 主机 | 内置12V-50W卤素灯光源；内置用于电动控制器的电源 | |
| 用于物镜转换器的电动控制器、卤素灯亮度控制、 | ||
| 光圈叶片控制器 | ||
| 物镜转换器：具备物镜转换器 | ||
| 对中功能的电动通用六座物镜转换器 | ||
| — | 反射/透射切换器 | |
| 调焦 部分 | 对焦部:行程29mm | |
| 粗调:12.7mm/转(可扭距调节.带重新对焦机能) | ||
| 微调:0.1mm/转(以um为单位) | ||
| 反射 照明部 | 12V50W高亮度卤素灯照明装置 | |
| 孔径光阑（电动.可调心)、视场光阑（固定.带对焦目标) | ||
| 可插入小孔光阑滑块(OPTION) | ||
| 可插入∮25mm滤光片(NCB、ND2、ND4）、起偏器/检偏器 | ||
| 观察方法：明场、暗场、简易偏光、微分干涉、反射荧光 | ||
| （仅用于L300N/L300ND/L200ND） | ||
| 透射 照明部 | — | 12W50W高亮度卤素灯 |
| 内置孔径光阑 | ||
| 内置LWD聚光器 | ||
| 接口 | USBx1，RS232C（用于Intensilight)x1 | |
| 镜筒 | L2-TTA超大视场正立调倾式三目镜筒（视角0～30°） | |
| 视场数25、光分光100：0/0：100 | ||
| L2-TT2A超大视场正立调倾式三目镜筒（俯角0～30°） | ||
| 视场数25、光分光100：0/20：80 | ||
| LV-T13正立三目镜筒 | ||
| 视场数25、光分光100：0/0：100 | ||
| 目镜 | CFI目镜 | |
| 物镜 | CFI60系列物镜 | |
| 载物台 | 14x12载物台、行程354mmx302mm | |
| （透射观察范围：354mmx268mm） | ||
| 带粗/微动切换功能 | ||
| 微动手轮位置固定 | ||
| 防静电 功能 | 从1000到10V放电时间在0.2秒以内 | |
| 耗电 | 1.2A/90W | |
| 尺寸 | 约360(W)x581(H)x951(D)mm（倾斜角度为10°时） | |
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