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特点
大口径（Φ215mm）石英反应腔。
小型一体化设计。
操作简单的触摸屏方式（PR510型）。
详细介绍
| 型号 | PR510 |
| 模式 | DP模式，桶型 |
| 高频输出功率 | Max500W |
| 频率 | 13.56MHz |
| 回调方式 | 自动协调 |
| 反应腔 | 石英①215 x305mm |
| 反应气体 | 2系统（O2/CF4) |
| 控制 | 触摸屏自动控制 |
| 配管材质 | 不锈钢、特氟龙 |
| 外形尺寸 | 参照规格书 |
| 重量 | 参照规格书 |
| 电源 | 三相AC200V8A |
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