市场上主流的过氧化氢消毒机主要分为三种形式，分别是：冷蒸发(毛细蒸发、定量蒸发)、干雾蒸发、闪蒸(VHP)。
一、冷蒸发过(毛细蒸发、定量蒸发等)氧化氢消毒机
作用原理：采用内置高压风机，使得设备喷头出气口风速达80m/s左右，形成很强的文丘里作用，从而在喷口处通过特殊的气道设计形成负压区，把设备内部的低浓度过氧化氢消毒液吸出。
优点：喷洒粒径在1微米左右，分布更均匀、扩散效果更好、使用低浓度过氧化氢就可以达到LOG-6的消杀效果。消毒空间大。
缺点：高压风机功耗更大从而产生的噪音比较大。
二、干雾过氧化氢消毒机
作用原理：采用内置压缩机或外接气源，使得设备喷头出气口风速达45m/s左右，形成稳定的文丘里作用，从而在喷口处形成负压区，把设备内部的低浓度过氧化氢消毒液吸出。
优点：喷洒粒径在5微米左右，干雾分布均匀。
缺点：喷雾完成后可能会在空间物表形成一层薄薄的水雾。由于粒径相对大，空间散布的距离不足，消毒空间有限。
三、汽化过氧化氢消毒机(VHP)
原理：采用内部闪蒸模块，使得添加到设备内部30-35%过氧化氢消毒液瞬间加热汽化成分子状态的过氧化氢。
优点：喷出的是过氧化氢气体，分子级别，可穿透高效也可以对生物安全柜等小腔体金星独立的管道循环灭菌。
缺点：灭菌过程中的浓度比较高，对灭菌区域的初始环境要严格控制以防凝露造成腐蚀。高浓度过氧化氢属于危化品。购买、运输、储存、使用都有严格要求，非常不方便。
