湿氧恒温柜高温工艺解决方案

湿氧恒温柜高温工艺解决方案

尊敬的用户：

为了方便您使用，请仔细阅读本手册，并按手册要求进行操作。

由于产品的改进和换代，您所使用的设备可能与手册中介绍不wan全一致，谨此致歉。

注意

在使用设备之前，请详细阅读使用手册，并特别注意其中注意事项的内容。

只有在使用、维护过程中严格遵照制造商的建议，才能使设备的性能达到设计的水准。

严禁非专业人员在设备正常使用时非法进行各类操作。

除非另有约定，本文档仅作为使用指导，所有陈述、信息和建议不构成任何明示或暗示的担保。

目录

一、设备简介

1.1 型号含义............................................................1

1.2 柜体结构图..........................................................1

1.3 主要功能 2

1.3.1 为机台做工艺提供湿氧........ 2

1.3.2 源瓶加热与恒温.................................................2

1.3.3 源管道伴热与恒温................................................2

1.3.4 源瓶液位监测....................................................2

1.3.5 源瓶压力监测及保护..............................................2

1.3.6 源瓶定时换水....................................................3

1.3.7 源瓶漏水监测....................................................3

1.3.8 超纯水水质检测..................................................3

1.3.9 超纯水缺乏监测..................................................3

1.3.10 废水收集与外排.................................................3

1.3.11 异常、故障报警..................................................3

1.3.12 与机台信号对接.................................................4

1.4 使用环境 5

1.5 技术参数 5

1.6 应用配置 6

二、二次配安装 6

2.1 电源..................................................................6

2.2 空压气 6

2.3 氮气 6

2.4 超纯水 6

2.5 排废水................................................................6

2.6 信号对接...........................................................6

三、系统画面 7

3.1 首页 7

3.2 控制界面 8

3.3 参数设置 9

3.4 报警记录 10

3.5 换水记录 11

四、设备操作 12

4.1 状态指示 12

4.2 开机操作 12

4.3 手动控制 12

4.4 停机操作 12

五、故障报警 13

六、注意事项 14

6.1 设备操作.............................................................14

6.2 参数设定 14

6.3 水位调节 14

6.4 开门作业 14

七、应急处理 15

7.1 人体烫伤 15

7.2 源瓶爆裂 15

八、日常巡检与检修保养 15

8.1 日常巡检 15

8.2 检修保养.............................................................15

一、设备简介

1.1 型号含义

湿氧恒温柜高温工艺解决方案

型号：FHWG-JWG6P

含义：F福雪莱；HWG恒温柜；JW加温；G光电检测液位；6P六个源瓶槽位

1.2 柜体结构图

1.3 主要功能

1.3.1 为机台做工艺提供湿氧（湿氧工艺）

说明：

1、装有一定量超纯水的源瓶水温加热到设定温度并恒温后，炉管方可做工艺；

2、工艺用氧气先通入瓶内水底鼓泡后再进入炉管反应室。（如下图）

1.3.2 源瓶加热与恒温

说明：

1、由PLC、温控器、温度探头、固态继电器、发热组件、源瓶液位计等完成控制；

2、源瓶开关打开后(即自动运行)，如瓶内水量达到低液位则加热直到设定温度并恒温；

3、加热异常、恒温异常、温度探头异常、温度异常均报警输出。

1.3.3 源管道伴热与恒温

说明：

1、由PLC、温控器、温度探头、固态继电器、伴热带等完成控制；

2、源瓶开关打开后(即自动运行)，如瓶内水量达到低液位则加热直到设定温度并恒温；

3、加热异常、恒温异常、温度探头异常、温度异常均报警输出。

1.3.4 源瓶液位监测

说明：

1、每个源瓶均安装有高、低光电液位计（位置可调）；

2、正常使用时液位为低液位至高液位之间；

3、液位低于低液位为异常并报警输出。

1.3.5 源瓶压力监测及保护

说明：

1、每个源瓶均安装有泄压阀及压力传感器；

2、当源瓶内压力≥设定压力时，自动打开泄压阀泄压；

3、当源瓶内压力持续≥设定压力时，压力异常报警输出。

1.3.6 源瓶定时换水

说明：

1、每个源瓶内的水都可以通过设定时间周期性换水；

2、换水时需要满足条件：自动运行+定时时间已到+工艺刚结束；

3、换水时需要先将瓶内原水排干，利用氮气加快地排水及吹扫；

4、源瓶排水的同时打开超纯水过水阀进行水质检测；

5、每次换完水自动重新计时；

6、水质检测合格后，方可往源瓶灌水。

1.3.7 源瓶漏水监测

说明：

1、柜内源瓶分两层放置，每层3个，每层一个接水盘，上下接水盘串接后引管到蓄水池；

2、接水盘管道上安装非接触式液位计；

3、当源瓶漏水或爆裂时，水会流到接水盘顺着管道流到蓄水池，液位计感应到信号后发出报警。

1.3.8 超纯水水质检测

说明：

1、源瓶每次灌水时（包括手动操作）都需要xian进行水质检测，合格之后才可以往源瓶内灌水；

2、水质检测可以自动也可以手动，每过水5min后检测一次，如合格则不再进行过水检测；

3、如水质连续三次检测不合格，发出水质异常报警，需要人工确认复位。

1.3.9 超纯水缺乏监测

说明：

1、超纯水管道进入柜内后分两路走：一路去到源瓶的补水阀（源瓶灌水）；一路经过水阀后接到蓄水池（水质检测过水）；

2、过水阀前面管道上安装非接触式液位计；

3、当超纯水缺乏时，液位计感应到信号后发出报警。

1.3.10 废水收集与外排

说明：

1、源瓶换水时原水排放需要容器收容（蓄水池）；

2、超纯水水质检测每次过水5min，需要容器收容（蓄水池）；

3、蓄水池上安装电极式液位计及排水泵；

4、当蓄水池液位上升到高液位时启动排水泵外排废水，排水泵也可以手动控制；

1.3.11 异常、故障报警

说明：

1、当设备发生任何异常或故障时均发出报警；

2、报警的方式：a、蜂鸣器；b、显示屏；c、传上位机；

1.3.12 与机台信号对接

说明：

1、1～6#管工艺状态信号，继电器常开触点，用于判断是否在工艺；

2、1～6#管不工艺状态信号，继电器常开触点，用于判断工艺是否结束；

3、1～6#源瓶换水请求信号，继电器常开触点，直到换水完成，用于告知机台源瓶在换水；

4、水质合格信号，继电器常开触点，直到换水完成，用于告知机台此次换水水质检测合格；

5、1～6#源瓶恒温就绪信号，继电器常开触点，用于告知机台换水完成且加热恒温可以开始做工艺；

6、1～6#源瓶温度异常信号，继电器常闭触点，用于告知机台该源瓶温度波动异常；

7、1～6#源瓶高液位信号，继电器常闭触点，用于告知机台该源瓶出现高液位；

8、1～6#源瓶低液位信号，继电器常闭触点，用于告知机台该源瓶出现低液位；

9、源瓶漏水信号，继电器常闭触点，用于告知机台柜内有源瓶漏水；

1.4 使用环境

1、地面平整，通风良好；

2、周围无强烈振动；

3、周围无强电磁场影响；

4、周围无易燃、易爆、腐蚀性物质和粉尘；

5、周围留有足够的使用及维护空间；

6、环境温度：10℃～45℃；

7、环境湿度：≤80%RH。

1.5 技术参数

1.6 应用配置

二、二次配安装

2.1 电源：三相交流380V、50Hz、约3.5KW；

2.2 空压气：6-8公斤压力；

2.3 氮气：2-3公斤压力；

2.4 超纯水进水管：4/1铁氟龙管；

2.5 蓄水池排水管：内径8MM软管；

2.6 信号对接。

三、系统画面

3.1 首页

Ø 用户登录：点击登录现有用户账号，屏幕右上角显示当前登录“用户名"；系统出厂自带用户账号有（管理员、工程师、操作员），均无密码选好用户点击登录即可，用户可根据需要自行创建密码以及登录注销时间。

Ø 注意: 设备使用及操作应使用账号权限分配并做好管理，“管理员"账号拥有zui高权限应由设备负责人掌管；自行创建的账号密码要记得，否则后续将无法登录该账号。

Ø 用户注销：点击注销当前登录的用户账号，屏幕右上角显示当前登录“无用户"。

Ø 用户编辑：点击修改、增加、删除用户账号信息，操作前需要先登录“管理员"账号（拥有zui高权限），不能删除“管理员"账号。

Ø 控制界面：点击进入控制界面画面。

Ø 参数设置：点击进入参数设置画面。

Ø 报警记录：点击进入报警记录画面。

Ø 换水记录：点击进入换水记录画面。

Ø 所有子画面屏保时间内（预设3min，可在参数画面修改）持续无操作均会退出返回到首页画面，然后息屏。

3.2 控制界面

Ø 源瓶温度：显示当前源瓶温度值。

Ø 伴热温度：显示当前源管道伴热温度值。

Ø 瓶内压力：显示当前源瓶内压力值。

Ø 换水计时：显示源瓶到达下一次换水的剩余时间。

Ø 蜂鸣器：在设备有故障报警且短时间内无法处理平息情况下可以点击图标进行关闭止闹，正常运行中请打开，能够及时发现设备故障。

Ø 照明：某些情况下照明自动打开，可点击图标手动开/关操作。

Ø 阀门开关：源瓶不使用状态下可点击图标手动开/关操作。

Ø 源瓶开关：点击源瓶图标可切换源瓶使用状态，显示禁用图标为不使用状态，不显示禁用图标为使用状态；使用状态（即自动运行状态）可以正常加热、恒温、自动换水及显示相关报警等；不使用状态则相反。

Ø 蓄水池图标：蓄水池变成绿色为蓄水池满水状态，会自动排水，如长时间为绿色请检查相关故障；排水泵可点击图标手动启/停操作。

Ø 源瓶高低水位：源瓶的高、低液位检测（阻挡时动作），源瓶两侧会显示相应标识以及源瓶变绿色。

Ø 过水时间、次数、电导率、水质结果：显示水质检测过程。

Ø 4～6管：切换到4～6管源瓶的控制界面。

Ø 异常确认：当水质检测连续三次不合格时，会报水质异常，需要人工确认复位。

Ø 返回首页：点击返回首页。

3.3 参数设置

Ø 加热温度偏差设定：设定源瓶恒温后温度波动报警偏差值。

Ø 伴热温度偏差设定：设定伴热带恒温后温度波动报警偏差值。

Ø 源瓶1～6加热设定温度：黑色框为设定恒温温度，红色框为显示是否设定成功。

Ø 管道1～6伴热设定温度：黑色框为设定恒温温度，红色框为显示是否设定成功。

Ø 统一第yi组设定：设定好第yi组源瓶温度值（加热与伴热），然后点击此按键，再点击“写入并保存"（稍微按长点）就可以统一设定1～6源瓶和伴热带恒温温度值。

Ø 源瓶泄压设定：设定源瓶压力泄压值，当瓶内压力≥泄压值自动泄压。

Ø 合格电导率设定：设定水质检测合格的电导率值，≤设定值为合格，方可往源瓶灌水。

Ø 换水超时时间设定：设定源瓶换水时间，超过换水时间会报警提示，应检查原因。

Ø 出现低液位继续排水时间设定：源瓶排原水的过程中，以出现低液位为节点估算多久排完，以停止排水动作。

Ø 源瓶换水周期设定：设定源瓶的换水周期时间；计时时间到：如此时炉管在工艺，则等工艺一结束就开始自动换水；如不在工艺状态那就等下次工艺结束再自动换水；每次换完水自动重新计时。

Ø 源瓶1～6计时开始：显示源瓶1～6换水结束后的日期时间。

Ø 重新计时：按下重新计时。

Ø 写入并保存：写入并保存当前的设定数值，需要稍微长按。

Ø 返回首页：点击返回首页。

3.4报警记录

Ø 报警记录：可以查看过去发生的报警事件，下方有记录总条数。

Ø 表格控件：点击可使表格内容上下移动和刷新记录便于查看。

Ø 返回首页：点击返回首页。

3.5 换水记录

Ø 换水记录：可以查看当下或过去发生的换水事情动作过程。

Ø 表格控件：点击可使表格内容上下移动和刷新记录便于查看。

Ø 返回首页：点击返回首页。

四、设备操作

4.1 状态指示

1、绿灯常亮：1～6源瓶开关任何开启且设备无gu障报警；

2、黄灯闪亮：源瓶自动换水时的灌水过程且无gu障报警；

3、黄灯常亮：源瓶自动换水时的排水过程且无gu障报警；

4、红灯常亮：设备停止状态且无gu障报警；

5、红灯闪亮 + 蜂鸣器：故障报警状态。

4.2 开机操作

1、检查电源配线、接线是否正确及电源电压是否正常（第yi次上电）；

2、合上柜内电源总空开、排水泵开关、控制回路开关以及选择各路源瓶开关 ；

3、合上柜子操作面板上的电源开关 ；

4、进入参数设置画面设置好各项参数（第yi次使用需要设置，参数具有断电保持功能）；

5、水质检测合格后给源瓶灌水，灌到高液位停止，最终液位可以通过补水阀和排水阀来调整（第yi次建议手动灌水，因为自动灌水涉及到的条件多且逻辑复杂）；操作如下图：

6、进入控制界面选择使用哪个源瓶（未使用显示禁用图标，使用后禁用图标消失）；

7、源瓶使用后（即自动运行），会加热与恒温、有异常时会报警、后续会按设定的换水周期自动换水；

8、紧急情况诶需要请按急停开关（停止所有源瓶使用及控制输出）。

4.3 手动控制

1、每个阀门都可以通过点击图标开/关控制：提前条件是对应的源瓶处于停止状态以及符合操作权限等级；

2、蜂鸣器、照明、蓄水池排水泵可以随时点击图标手动操作。

4.4 停机操作

1、关闭各个源瓶开关（显示禁用图标） ；

2、断开柜子操作面板上的电源开关（短时停机） ；

3、断开柜子操作面板上的电源开关以及柜内所有开关（长时停机）。

五、故障报警

提示：遇到无法解决的问题时请联系设备厂家！

六、 注意事项

6.1 设备操作

1、人员未经培训，不得操作设备；

2、非专业人员，不得操作设备电气部分；

3、上电开机前应该检查设备是否具备条件（如在检修中，不能操作）；

4、第yi次上电，先检查电源接线、电压是否正常，否则可能造成设备严重损坏；

5、除了可操作的部位，其它地方不可触碰，避免触电或其它危险。

6.2 参数设定

1、参数具有断电保存功能，无需每次开机都要设置，除了需要修改；

2、参数设置要合理，不能过大或过小；如源瓶泄压压力，过大起不到保护作用会爆瓶，过小又不合理，会影响工艺。

6.3 水位调节

1、源瓶具有高低液位两组探头；

2、调节过程中，位置不能相反；

3、高低液位调节合理，否则可能会影响工艺。

6.4 开门作业

1、柜内有源瓶加热系统温度较高（或高于70℃）；

2、开门作业时需要做好防护防止人体被高温烫伤。

七、应急处理

7.1 人体烫伤

1、车间里面应该配有急求箱；

2、及时对烫伤部位进行降温消毒处理，然后上药包扎好；

3、严重者应该到医院进一步检查和治疗。

7.2 源瓶爆裂

1、停止工艺；

2、关闭该路电源开关；

3、关闭源瓶开关（停止自动）；

4、做好防护，然后开门更换源瓶；

5、换好源瓶重新灌水、加热到恒温；

6、检查整体没问题后重新做工艺。

八、日常巡检与检修保养

8.1 日常巡检

1、看：观察设备整体是否有异样（如漏水、冒烟等），特别是报j灯；

2、听：设备是否有异常声音（如漏气、水流等），特别是报警蜂鸣器；

3、如有异常故障，及时发现和处理。

8.2 检修保养

1、设备正常使用时检修周期为每年一次，检修内容包括柜内主要部件、仪表的检查、校准、清洁、维修、更换等。