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详细介绍
特点：
◆*的多样品扫描减少了停机时间
◆200mm X 200mm的大样本尺寸提供了比较多的可能性
◆具有包容性的扫描模式组合可以适应大多数的需要
◆非常适合公共实验室和用户中心
规格参数：
| 型号 | Park XE15 | |
| 扫描仪 | XY扫描仪 | 100um*100um |
| Z扫描仪 | 12um(可选25um） | |
| 形貌噪音 | <0.05nm(标准值0.02nm） | |
| 光学 | 物镜 | 10X （可选20X） |
| 电子 | 高性能DSP | 600 MHz和MIPS 4800 |
| ADC | 500 kHz采样20个16位ADC的频道 | |
| DAC | 500 kHz沉降21个16位DAC的频道 | |
| 样品台 | XY平台行程 | 150mm x 150mm |
| Z平台行程 | 27.5mm | |
| 聚焦平台行程 | 20mm | |
| 样品尺寸 | 150mm，厚度小于20mm | |
| 物理信息 | 外形尺寸 | 820mm（长）X920mm（宽）X1280mm（高） |
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