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详细介绍
规格：
CV-2100M4 | CV-2100N4 | ||
测量范围 | X轴 | 100mm | |
Z1轴 (检出器) | 50mm | ||
上下移动量 (Z轴立柱) | 350mm | — | |
X轴倾角范围 | ±45o | ||
分辨力 | X轴 | 0.1μm | |
Z1轴 | 0.1μm | ||
驱动方式 | X轴 | 电动 (0 - 20mm/s) | |
上下移动 (Z轴立柱) | 手动 (快速上下动、微动) | — | |
测量速度 | 0.02~5mm/s | ||
直线精度 (X轴水平位置时) | 2.5μm/100mm | ||
指示精度 | X轴 | ± (2.5+0.02L) μm L：测量长度 (mm) | |
(20oC) | Z1轴 | ±(2.5+|0.1H|) μm H=为水平位置上的测量高度±25mm以内 | |
测量方向 | 向前/向后 | ||
测量面方向 | 向下 | ||
测力 | 30±10mN (3gf) | ||
测针跟踪角度(以标准配件测针为例) | 向上77o、向下87o (根据表面粗糙度而定) | ||
尺寸 (幅度×深度×高度) | 745×450×885mm | 651×143×138.5mm | |
重量 | 145.8 kg | 5.8 kg | |
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