具有基本参数（FP）的XRF分析可将元素峰强度转换为元素浓度和/或薄膜厚度。可以无标样地执行分析，其中所有变量均基于理论方程式，基本参数数据库以及检测器，X射线管和几何形状的精确建模。当膜厚为10毫米时，对于简单的大块或单层薄膜样品，可以使用无标样模式。 FP分析也可以使用标准品进行。这是通过校准步骤实现的，其中

每个元素的XRF响应函数是使用某种已知标准测量的。