当入射的X射线不入射时会发生散射产生荧光，但与“碰撞"样品的原子导致

粒子运动方向的变化。在康普顿散射中，X射线撞击电子的样本。由于一些能量被转移到电子中碰撞时，X射线以较少的能量离开碰撞。这就是为什么我们看到康普顿峰的能量更低

比源激发能大。在瑞利散射中，电磁辐射被分散半径小于约1/10的粒子辐射的波长。

在瑞利散射过程中，光子被紧密结合的电子散射，其中原子既不被离子化也不被激发。入射光子被（基本上）散射不变的能量。瑞利散射主要发生在低能量和高原子重量的情况下。