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灵活可变，玩转半导体光谱测量 | 技术头条
时间：2023-10-19
显微光谱技术是半导体材料表征的有效手段之一，但普通整机光谱仪往往只能提供单一的测量功能，无法满足半导体材料表征多变的需求。此时，可灵活定制的 HORIBA SMS 显微光谱测量系统脱颖而出，让半导体人轻松玩转光谱测量！
01 灵活光谱系统，多种表征一机到位
根据不同的测量目标，SMS 显微光谱测量系统可以通过配置高性价比的测量附件，让光谱系统“活”起来，一机实现多种光谱测量，满足高灵活的半导体测试分析需求。不仅仅是拉曼、光致发光以及反射光谱，SMS 还可测量时间分辨光致发光、透射、暗场散射及电致发光光谱，以满足如半导体内部应力/应变表征、纯度、异质结构、掺杂效果等多种测试目标，全力助推行业技术成熟进步。
另外，SMS 搭载了 LabSpec 软件，能控制系统组件和配件，提供高级数据采集分析程序，大大提升光谱成像结果与分析检测报告效率。软硬件搭配得当，赋予光谱系统强大的控制功能，让操作流程更简易便捷，分析结果更轻松可得。
使用 HORIBA LabSpec 软件对稳态 PL 测量和信号分析处理后，得到的不同半导体材料的光致发光光谱表征
此外，其模块化的设计特点还能为后续升级迭代留下足够的空间与可能性。
HORIBA 的显微光谱测量系统(SMS)正视图
其探测器、物镜及光谱仪皆可实现灵活配置
02 光谱系统搭建，性能与耦合是关键
显微光谱测量系统的关键在于核心光学部件的优异性能与稳定耦合。SMS 的核心部件皆由 HORIBA 原厂制造，其雄厚的技术实力确保各类光学部件(包括探测器、光栅及光谱仪等)皆质量过关且性能很好。同时，这些部件都经过一系列搭建安装测试与验证，能有效保证彼此间互相兼容，始终保持稳定耦合。
此外，正是由于各关键部件皆由 HORIBA 制造，能从根本上杜绝因不同部件分属不同制造商而导致的维护责任归属问题，让用户使用时无后顾之忧。
总之，SMS 是一款基于标准显微镜的模块化搭建系统，既具备显微镜的成像功能，也可为客户提供光谱分析功能。那么，它是如何通过配置不同附件来实现不同光谱测量，从而满足半导体材料的测试目标的？不同的光谱测量技术对于半导体材料分析意味着什么？还有哪些需要注意的？更多详细信息，请扫描下方二维码查看。
