377-001-Inficon英福康CDG025D电容膜片式真空计-成都四洋科技有限公司

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参考价: ￥ 89000

订货量: ≥1 台

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产品型号377-001

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更新时间：2024-04-24 14:23:18浏览次数：267次

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产地	进口	产品新旧	全新

Inficon英福康CDG025D电容膜片式真空计

INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. *的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供的零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命.*的传感器屏蔽保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和数字电子学提高 EMC 兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力. CDG025D 为加电源后的快速稳定性和暴露大气后的快速恢复性设定新的标准.

优势：

全量程范围从100毫乇 … 1000乇

加电源后快速稳定性

从大气压的快速恢复性

抗腐蚀的陶瓷传感器

长期讯号稳定性

温度补偿

传感器有防污染保护

一键调零功能

宽范围电源

两个设点 (可选)

RS232 接口 (可选)

Inficon英福康CDG025D电容膜片式真空计用途：

半导体制造设备用于刻蚀, CVD, PVD, ALD

数据贮存和显示器制造设备

工业真空设备

一般高精度压强测量

技术规格

满量程范围（Torr）	1000	100	10	1	0.1
精度（在25°C环境工作温度下运行两小时后无非线性,滞后性,再现性的温度效应）	0.2%读数				0.5%读数
温度效应在零点在满量程	0.005%满量程/℃ 0.01%读数/℃			0.015%满量程/℃ 0.01%读数/℃	0.02%满量程/℃ 0.02读数/℃
分辨率	0.003%满量程
压强（压力）	400Kpa	260Kpa			130Kpa
响应时间	30ms				130ms
低压强读值	0.01%满量程
低建议压强	0.05%满量程
低建议控制压强（排气节流阀联控时）	0.5%满量程
电源电压功率	+14至+30Vdc ≤1 W
输出信号	0至+10V模拟量
电气连接件	D-sub 15针
工作温度	+5至+50℃
烘烤温度	≤110℃法兰处（未运行）
安装方位	垂直水平（要求）
防护等级	IP30