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MX63/MX63L半导体FPD/工业检测显微镜

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  • 所在地 杭州市

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更新时间:2022-07-09 15:15:30浏览次数:216

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产品简介

MX63/MX63L半导体FPD/工业检测显微镜

详细介绍

MX63/MX63L半导体FPD/工业检测显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法(DIC)、荧光法、红外线法和深紫外线法,保证了的图像分辨率和鲜明度。

 

· 考虑了检查效率的设计

 

· 鲜明图像和的分辨率为特点的光学系

 

· 软件方案

 

· 支持缺陷检测的多种功能

 

· 帮助实现多种观察的附件

MX63

MX63L

光学系统

UIS2光学系统(无限远校正系统

显微镜镜架

反射光照明

白光LED (带有光强度控制器) 12100瓦卤素灯, 100瓦汞灯 明场/暗场/分光镜组件手动切换。(反射镜分光镜组件为选配件。
通过手动操作调整3位编码分光镜组件 
内置电动孔径光阑(针对所有物镜预设,暗场自动*打开) 
观察模式:明场、暗场、微分干涉相衬(DIC*1、简易偏光 *1、荧光 *1、红外 *1 MIX观察(4个定向暗场)*2
*1
选配分光镜组件,*2 需使用MIX观察配置

透射光照明

透射光照明装置:需使用MX-TILLAMX-TILLB 
-  MX-TILLA
:聚光镜(NA 0.5)和孔径光阑 
-  MX-TILLB
:聚光镜(NA 0.6),孔径光阑以及视场光阑 
光源:LG-PS2 (12 V, 100 瓦卤素灯) 光导: LG-SF     
观察模式: 明场、简易偏光

聚焦

行程:32毫米 
每转行程微调:100微米 
最小分度: 1微米 
用于粗调的上限限位器和扭矩调节

载荷重量(包括载物台和支架

8公斤

15公斤

观察筒

宽视场(FN 22毫米)

正像三目镜筒:U-ETR4 
正像、可调倾角三目镜筒: U-TTR-2 
倒像三目镜筒: U-TR30-2U-TR30IR (用于红外观察
倒像双目镜筒: U-BI30-2 
倒像可调倾角双目镜筒:U-TBI30

超宽视场(FN 26.5毫米

正像可调倾角三目镜筒:MX-SWETTR (光程切换99% (目镜) : 0 (相机) 0 : 99%) 
正像可调倾角三目镜筒: U-SWETTR (光程切换99% (目镜) : 0 (相机) 20% : 80%) 
倒像三目镜筒: U-SWTR-3

电动物镜转换器

明场
DIC插槽的电动六孔:U-D6REMC
DIC插槽的电动定心五孔:U-P5REMC

明场和暗场
DIC插槽的电动六孔:U-D6BDREMC
DIC插槽的电动五孔:U-D5BDREMC
DIC插槽的电动定心五孔:U-P5BDREMC

载物台 (X × Y)

带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC8R
行程: 210 x 210毫米
透射光照明区域:189 x 189毫米

带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC6R2
行程: 158 x 158毫米
(
仅适用于反射光)

带内置离合驱动的同轴右手柄:MX-SIC1412R2 
行程: 356 x 305毫米 
透射光照射区域:356 x 284毫米

重量

35.6公斤 (显微镜架26公斤)

44公斤 (显微镜架28.5公斤)


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