STM7测量显微镜

优异的光学性能

STM7系列采用了当前*光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。因此，观察到的图像具有高分辨率和高对比度，此外，像差也被消除，以确保实现对微小细节的高精度测量。

提供操作友好、高精度的3轴测量

随着现代制造技术日益小型化和精密化，高精度测量也日趋重要——不近是XY轴平面的测量，而且Z轴方向的高精度测量也成为必须。奥林巴斯成为一家成功开发了测量显微镜用采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统的公司，以此响应了这种与日俱增的需求。

严格的可追溯系统确保品质可靠

奥林巴斯通过一个严格的可追溯系统控制测量显微镜的精确度。并且在安装系统时奥林巴斯也提供了可追溯的校准服务。

适合多种样品的载物台

STM7的特色就是配备有一个可以测量大型样品（包括300 mm晶圆和印刷电路板等）的300 mm×300 mm的载物台。7提供了相同X和Y轴测量行程的大载物台，这样对于大样品就不需要旋转样品。由于X和Y轴的测量行程都比较长，可以将多个样品排列在载物台上，实现更有效的测量。

具有优异的重复性的便捷、精确的聚焦系统

通过将图案投影在视场范围内，由操作者确认上下图案的重合情况，奥林巴斯的聚焦导航系统实现了重复性高的高度测量操作。普通的目测观察进行高度测量时，即使是看上去非常清晰的已经合焦的图像，也会出现微小误差。而使用STM7的聚焦导航系统，只需匹配标记便可进行测量，因此减少了操作者的主观性对测量结果造成的影响。

可以消除测量过程中主观性影响的便捷功能

自动边缘检测这个功能检测样品的边缘，自动获取样品的坐标并测量。因此，操作者不再需要坐标，这较大程度地降低了操作者的主观性对测量的影响。自动边缘检测的另外一个特色是具有定时功能，实现了到规定的时间后自动获取坐标。定时功能和脚踏开关功能，使操作者能够在手不需要离开载物台手柄的情况下专心测量。