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详细介绍
全新的MX12R半导体 /FPD 检查显微镜，支持 300mm 晶圆及 17英寸液晶面板的检查，含 4、6、8、12英寸多种转盘，可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升，为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。
技术参数
型号 | MX12R |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 |
可选择的观察方法 | 明场/斜照明/偏振光/DIC/透射光 |
观察筒 | 无限远铰链三通观察筒,0-35°倾角可调,正像,瞳距调节 :50-76mm，分光比 100:0 或 0:100 |
目镜 | 高眼点大视野平场目镜 PL10X/25mm，视度可调，可带单刻度十字分划版 |
物镜 | 无限远明暗场半复消金相 DIC 物镜 5X 10X 20X 50X 100X |
转换器 | 明暗场六孔电动转换器，带 DIC 插槽 |
电动平台 | 面积 495mmX641mm，移动范围 ：306mmX306mm ；软件控制 X、Y 移动，重复定位精度，（3+L/50）μm 带平板平台 |
显微镜镜体 | 反射式机架，前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm，微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统 透反机架，前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程 35mm，微调精度 0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统 |
照明系统 | 明暗场反射照明器 , 带可变电动孔径光阑，视场光阑 , 中心均可调 ；带明暗场照明切换装置 ；带滤色片插槽与偏光装置插槽 |
摄影目镜 | 0.5X/0.65X/1X 摄像接筒三选一，C 型接口，可调焦 |
可选附件 | 无限远长工作距明暗场半复消金相 DIC 物镜 20X 无限远长工作距明暗场半复消金相物镜 50X 、100X 起偏镜插板，固定式检偏镜插板 反射用干涉滤色片组 高精度测微尺 DIC 组件 |
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