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详细介绍
工程单位
测量气体流量和相关的累积器数据，可以通过前面板
按键或者数字接口指令直接设置工程单位。支持下列测量
单位：百分比、mL/min、mL/hr、 scfm、scfh、 sL/min、
sL/hr、 lbs/hr、 bs/min以及一个用户定义的测量单位。
多气体校准
DFM可存储最多10种气体的校准数据。也可以在气体比
例精确的条件下进行多气体校准。
转换系数
DFM最多可存储32种气体的转换系数，而且用户可自定
义转换系数，转换系数可以通过按键或数字接口指令从任何
十种气体校准数据中转换。
测量气体流量和相关的累积器数据，可以通过前面板
按键或者数字接口指令直接设置工程单位。支持下列测量
单位：百分比、mL/min、mL/hr、 scfm、scfh、 sL/min、
sL/hr、 lbs/hr、 bs/min以及一个用户定义的测量单位。
多气体校准
DFM可存储最多10种气体的校准数据。也可以在气体比
例精确的条件下进行多气体校准。
转换系数
DFM最多可存储32种气体的转换系数，而且用户可自定
义转换系数，转换系数可以通过按键或数字接口指令从任何
十种气体校准数据中转换。
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