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TL1200双温区CVD系统

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更新时间:2022-08-06 15:35:54浏览次数:27

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产品简介

TL1200双温区CVD系统

详细介绍

           TL1200双温区CVD系统

CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统采用双层壳体结构,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者的安全。供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

TL1200双温区CVD系统技术参数:

1.额定温度:1150℃                               2.温度:1200℃

3.各温区加热段:200mm+200mm                     4.电压:220V/380V     

5.加热元件:瑞典Kanthal-A1电阻丝              6.热电偶:K型                 

7.温控方式:智能化30段可编程控制              

8.升温速率:30℃/min   推荐升温速率:15℃/min                               

型号

TL1200-1200-C-I

TL1200-1200-C-II

TL1200-1200-C-III

TL1200-1200-C-IV

炉管尺寸

Φ60X1000

Φ80X1000

Φ100X1000

Φ150X1000

功率(KW)

3.6

3.6

3.6

5.2


组件配置:

控温仪表 采用宇电程序控温仪表


1、50段程序控温智能PID调节。

具有过温保护、断偶保护,过温或断偶时电炉加热电路会自动切断,(当电炉温度超过1620度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉)。

3、带有485 通讯接口(选购软件时标配)

4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

二、开门保护系统:该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者的安全。


三、炉膛材料:采用氧化铝纤维炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。

四、加热元件:采用优质发热元件,使用寿命长。

额定温度

发热元件


1200

瑞典康奈尔A1电阻丝

1400

国产优质U型硅碳棒

1600

国产优质U型硅钼棒

1700

中外合资硅钼棒

1800

瑞典康奈尔1900硅钼棒

五、漏电保护功能: 该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。

六、软件控制系统(选购):该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。


七、控制系统:1、电器:正泰,    2、可控硅:德国西门康106/16E,   3 触发器:移相触发。


技术参数表(详细技术资料请联系业务人员,可接受定做)

控制精度


+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

升温速率


≤30 ℃/ Min (可根据要求修改)

推荐升温速率

≤15
℃/ Min

四周表面温度

≤45℃

炉膛材料

1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用日本技术成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本的热工技术布置、经过热工软件模拟温场

开盖保护系统

当炉盖打开时继电器会自动切断主电源,有效地保证使用者的安全。

控温方式

采用宇电程序控温仪表(标配)

可更换进口仪表,需要另外付费,选购



FP93控温仪表(日本岛电 )

英国欧陆仪表

厦门宇电触摸屏仪表



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