脱气膜系统

脱气膜是控制液体脱气、供气的中空纤维膜组件。具有致密表皮层的中空纤维不透过液体，只透过气体，适合用于液体的脱气、供气。

在半导体工业中去除溶解氧和CO2以延长离子交换的工作时间和改善EDI的性能。在MAKE-UP系统中除去溶解氧，在抛光阶段去除溶解氧使之达到小于1ppb。总气体控制有助于加强超声清洗效果。

脱气膜广泛地用于从水中除氧和其他液体除氧。氧气O2对很多工艺过程有负面影响;氧气会腐蚀和氧化材料。在电力和其他工业领域，如果没有进行脱气， 管道，锅炉和设备很容易被腐蚀。脱气膜提供了一种无需化学品添加和大型脱气塔的易于操作，模块化的水中脱氧方法。还提供只须一个步骤就可达到同时去除氧气O2和二氧化碳CO2 ， 和氮气控制的好处。在半导体领域的灵活应用在半导体和薄膜平板工业领域，高含氧量会导致低良品率。在微电子领域，脱气膜能满足<1ppb。