RTP快速退火炉是一种高温热处理设备，主要用于半导体、光电子、纳米材料等领域，通过精确控制加热和冷却过程中的温度和时间，实现对材料性质或结构的精细调整和优化处理。在RTP退火炉改造中增加氧分析仪的原因主要有以下几点：

一、控制炉内气氛

RTP退火炉在工作时，炉内通常处于正压状态且氧含量几乎为零，这是为了防止外界空气进入，避免对炉内气氛造成污染，从而影响产品的品质。然而，由于炉内氧分压不足，空气中的氧还是会少量扩散到炉内。通过增加氧分析仪，可以实时监测炉内氧含量的变化，确保炉内气氛的稳定性和可控性。

二、预防漏气问题

当退火炉内的氧含量出现异常时，可能是由于预热段入口密封棍密封性能不足、密封氮气效果欠佳，或者冷却段循环风机入口处及相关管道阀件存在漏气现象等原因导致的。通过氧分析仪的监测，可以及时发现这些潜在的漏气问题，并采取相应的措施进行修复，从而避免漏气对炉内气氛和产品品质的影响。

三、提高产品品质

在RTP退火炉的生产过程中，气体成分的变化直接影响产品的品质。通过氧分析仪的实时监测，可以及时发现炉内气氛的异常变化，并采取相应的措施进行调整，以确保产品的品质和稳定性。这对于提高产品的合格率、降低生产成本具有重要意义。

四、实现智能化控制

随着科技的不断发展，智能化控制已经成为工业生产的重要趋势。通过增加氧分析仪，可以将其实时监测的数据与PLC控制系统进行连接，实现对炉内气氛的智能化控制。这不仅可以提高生产效率，还可以降低人工操作的误差和成本，为企业的可持续发展提供有力支持。

综上，RTP退火炉改造中增加氧分析仪是非常必要的。它不仅可以实时监测炉内氧含量的变化，确保炉内气氛的稳定性和可控性，还可以及时发现潜在的漏气问题、提高产品品质、实现智能化控制等，因此推荐半导体设备Microx-223氧气分析仪。

产品技术指标如下：
测量范围： 1ppm-25%自动量程       

测量精度：
±2ppm @1…19.9ppm

±5ppm @20…99.9ppm

±3%FS @100…999.9ppm

±3%FS @1000…9999.9ppm

测量值的3% @1.00%…25%