HORIBA STEC 微小液体质量流量计LF-F 质量流量控制器LV-F

提供超低微小流量检测

提供超低微小流量控制

可精准检测低沸点和高粘度液液体

可精准控制低沸点和高粘度液液体

抗压性：10MPa

抗压性：10MPa

超洁净

超洁净

型 号

LV-F20 (PO/MO)

LV-F30 (PO/MO)

LV-F40 (PO/MO)

LV-F50 (PO/MO)

LV-F60 (PO/MO)

全标度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

检测控制
范围

5〜99% F.S.

对象液体
种类*1

可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。

液体
粘度*2

低于 0.01 Pa·s (10cp)

精度*3

±1% F.S.

直线性*3

±0.5% F.S.

重复性*3

±0.5% F.S.

响应精度

3秒以内(T98)

2秒以内(T98)

使用环境
温度*4

5〜50℃(15〜45℃精度的确保)

温度影响
Span

±0.1%F.S./℃

工作差
压值*5

0.05〜0.3MPa

耐 压

1MPa

压力损失

ー

流量设定
信号

模拟：0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议)

流量输出
信号

模拟：0〜5 VDC(*小负荷电阻2kΩ)数字式：RS485(F-Net通信协议)

驱动电源

+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏
规 格

PO类型：1×10-8Pa•m3/s (He) MO类型：5×10-12Pa•m3/s (He)

接液部材质

PO类型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA　MO类型：SUS316L，Ni

标准接头

1/16"，1/8"卡套；
1/8"VCR
1/8"VCR
1/8"VCR

1/8"SWL类型，1/8"VCR类型

1/4"SWL类型1/4"VCR类型

型 号

LF-F20M-A

LF-F30M-A

LF-F40M-A

LF-F50M-A

LF-F60M-A

全标度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

检测控制范围

5〜99% F.S.

对象液体种类*1

可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外

液体粘度*2

不高于 0.1 Pa·s (100cp)

精度*3

±1% F.S.

直线性*3

±0.5% F.S.

重复性*3

±0.5% F.S.

响应精度

3秒以内(T98)

2秒以内(T98)

使用环境温度*4

5〜50℃(15〜45℃精度的确保)

温度影響Span

±0.1%F.S./℃

工作差压值值*5

不高于5MPa (视为流量计) / 50〜300kPa (with piezo控制阀)

耐压

10MPa (视为流量计)

压力損失

不高于 500Pa

流量设定信号

模拟：0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议)

流量输出信号

模拟：0〜5 VDC ；数字式：RS485(F-Net通信协议)

驱动电源

+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏规格

5×10-12Pa·m3/s (He)

接液部材质

SUS316L, Ni

标准接头

1/16"，1/8"SWL类型，1/8"VCR类型

1/8"SWL类型，1/8"VCR类型

1/4"SWL类型1/4"VCR类型