详细介绍
- 高精度 ±1.0% 设定点
- 高速响应
- 超洁净设计
- 符合 RoHS 标准
HORIBA SEC-8000F/D/E 系列 一款用于高温环境下的质量流量控制器
- 高精度和快速的PID响应时间
高精度:±1.0% S.P. 响应时间:<1.0 秒
- 支持模拟式,数字式和DeviceNet通讯模式
模拟式和数字式通讯模式SEC-8000F
DeviceNet通讯模式SEC-8000D
- 超洁净 : 全金属结构
- 兼容150℃烘烤 : 耐高温的特殊流量传感器和阀部件
- 兼容复杂工艺 : 多种纯净气体供给,用于 MOCVD的有机金属材料,
低气压材料,对腐蚀性气体流量控制的理想选择。
技术规格: