HORIBA D500压差式质量流量控制器

· 压力不敏感性能
高性能压力补偿新功能简化了供气系统

· 多量程、多气体、多压力解决方案
新功能允许用户改变气体类型、满量程流量和供压范围

· G-LIFE（集成限流器方程的气体定律校验）自诊断功能
的工艺健康监控功能允许操作人员自行进行测试，即使提高通过量，通常也能在三秒或更短的时间内完成测试。

· 高精度
的三维调整功能提高了工艺气的流量精度

· 快速响应
响应时间：< 0.8 秒
可实现精确、稳定的流量控制

· 动态范围
控制范围广：0.2% 满量程 至 99% 满量程

HORIBA D500系列产品资料

压力不敏感型高性能质量流量控制器D500

型号：D512MG、D522MG

流量范围100sccm-10SLM，精度±1%

特 征

· 压力不敏感性

高性能的压力不敏感型功能可有效简化气体供应系统

· 多量程,多气体,多种压力的解决方案

新功能允许用户改变气体种类、满量程内的流量,供应压力范围

· G-LIFE 自我检测功能(气体定律检查集流节流方程)

G-Life功能允许操作人员进行流量计自我监测,通常会在三秒内提高生产能力

· 高精度

的三维调节已改进工艺气体的流量精度

· 快速响应

响应速度＜0.8秒

已实现精准且稳定的流量控制

· 动态范围

控制范围：0.2% F.S. ~ 99% F.S.

技术参数：