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详细介绍
PR300/301
等离子灰化机性能特点：
等离子灰化机:大口径石英工作仓配备,小型一体化设计,操作简单的触摸屏控制面板
等离子灰化机性能用途：
硅晶圆表面光刻胶残留物的灰化
零部件清洗
界面活性处理
微量研磨
基板的表面处理
等离子灰化机性能规格：
硅晶圆表面光刻胶残留物的灰化
零部件清洗
界面活性处理
微量研磨
基板的表面处理
等离子灰化机性能规格：
| 型号 | PR300 | PR301 | PR500/PR510 | |
| 同调方式 | 手动2轴同调方式 | 自动调谐 | ||
| 反应槽 | 3室超硬质玻璃φ64×160mm×3 | 1室超硬质玻φ118×160mm | 石英制φ215×305mm | |
| 加热器 | 不锈钢线圈加热器 | 手动/触摸屏联动控制 | ||
| 配管材质 | SUS不锈钢、特佛伦、铜、铜合金 | SUS不锈钢、特佛伦 | ||
| 方式 | DP方式 | |||
| 频率 | 13.56MHz | |||
| 反应气体 | 1系统 | 2系统 | ||
| 外形尺寸 (W*D*Hmm) | 438×520×556mm | 438×520×656mm | 438×520×760mm | |
| 输出功率 | Max.300W | Max.500W | ||
| 价格： | 请问询 | |||
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