热管理对于化学干式螺杆真空泵的可靠运行至关重要。

在对于给定过程而言过冷的泵中，腐蚀性蒸汽可能会凝结，从而导致腐蚀、润滑剂稀释和密封件膨胀。这种损害很严重，但只有在允许蒸气凝结成液相的情况下才会发生。

相反，如果泵的工作温度对于给定的过程而言过高，则可能会发生不必要的反应，例如聚合或自燃，并增加轴承温度或发生热咬合。 

上面提到的各种影响可以通过内部涂层稍微减轻，但是不能依靠这种方法。涂层在初始存储和系统调试期间起到了很好的保护泵的作用，但是它们只能在泵大部分时间使用的温度和真空度下存活很长时间。

关键是要确保过程蒸汽保持在下图中的气相 [绿色区域]。确保这种情况发生的一些策略包括对泵冷却剂的温度/流量加以控制，使用氮气吹扫来改变工艺露点，以及使用进口冷凝器去除泵上游的蒸汽。  

为了进一步提高系统存在挑战时的可靠性，可以向泵系统添加其他功能以帮助保证可靠性。一个例子是溶剂冲洗系统，以保持泵送机构通畅清洁。另一个是除渣罐 和过滤器，用于捕获无法避免出现的液体或粉末团块。