合肥科晶1350℃温控型插入式蒸发源

合肥科晶1350℃温控型插入式蒸发源 GSL-1350-ISE

产品概述：

GSL-1350-ISE是一款温控型可插入式蒸发仪，适用于蒸发各种金属和有机材料，其高温可达1350℃。采用磁流体密封，可保证在旋转的腔体中进行PVD实验。KF50的旋转式快接法兰，可非常方便地与各种真空腔体对接。此模块还配有一进气阀，用于通入气体对腔体进行清洗和排气，保证样品在蒸镀过程中不被氧化。

结构&特点：

• 此蒸镀系统升温可以手动和自动两种模式。手动模式可以快速加大电流，达到快速加热蒸发，但温控性较差。自动控制控温较准确。
• 采用钨线圈加热，氧化铝坩埚装料，其高温可达1350℃
• 精确控温，可设置30段升降温程序，控温精度可达+/- 1 ºC
• Φ6.35mm进气口，可向蒸镀腔体中通入气体
• 电源：电压：208 - 240 VAC 50/60 Hz, 单相, 500W

温控系统&加热源：

• 工作温度: 1350ºC (<1hr)., 连续工作温度：1200℃
• 500WDC蒸发电源，大电流30A
• 钨丝加热，S型热偶测温，氧化铝坩埚装样
• 温控系统可设置30段升降温程序，控温精度：+/- 1 ºC
• 建议升温速率< 30 ºC/min
• 若长期工作在800℃以上，必须用高温棉填满耐火保温层与坩埚之间的间隙。可减少钨丝加热元件的损耗。

样品坩埚：

• 配有0.7ml的氧化铝坩埚
• S型热电偶嵌在坩埚底部，用于精确测量加热温度

进气口：

• 6.35进气口，用于向蒸镀腔体中通入气体
• 一个针阀安装在进气口后端，用于控制其气体流量

质量认证：CE认证

合肥科晶1350℃温控型插入式蒸发源