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详细介绍
系统依据的相关标准:
GB/T 26250-2010 电子工业用气休
GC-126PDD氦离子化气相色谱仪适用于高纯气体、超高纯气体及电子工业用气体中痕量杂质的检测。该产品以GC-126气相色谱仪为载体，配备VALCO公司生产的氦离子化（PDHID）检测器；采用克柔姆公司拥有专业技术的四阀五柱的中心切割与反吹技术，其中的所有进样和切换阀均为VALCO公司生产的带吹扫保护气路的六通或十通阀；上述部分与VALCO公司原装的氦气纯化器、无死体积取样阀等部件一起组成一套完整的高纯气体分析解决方案。
高纯气体的分析是一个复杂的过程，不仅需要高灵敏的检测器，还要考虑样品本身的特性及其背景，如吸附、取样及分析过程中是否有空气混入、系统的密闭性、系统的死体积等环节，克柔姆色谱公司总结了高纯气体分析过程中的技术难点，并给出了所有难点的解决措施，使GC-126PDD氦离子化气相色谱仪成为工业气体行业的高纯气体分析系统，很好的完成了气体中微量杂质，特别是ppb级的杂质的分析。
Items/检测项目一： N 2 ≤ 0.20ppm， O 2≤ 0.02 ppm ， Ar≤ 0.02 ppmv ，SiH 4≤ 0.02ppmv;
CO2≤ 0.02ppmv CO≤ 0.03ppmv ，H2S ≤ 0.0 3 ppmv ， C1～C2≤ 0.0 5 ppmv ，
GeH4(锗烷)、 SiH4(硅烷)、 PH3(磷烷)、H2S
进样与反吹系统: 吹扫十通阀2只; 吹扫六通阀3只;
阀体选:采用VICI 316L不锈钢材质； 气路管线: 1/16或1/8采用VICI 316L材质
仪器主要应用于6N砷烷气体中微量杂质的分析，具体内容详见下表：
| 气体种类 | 需分析特气的杂质种类 | |||||||
| He | H2 | O2/Ar | N2 | CH4 | CO | CO2 | H2S | C2、SiH4、 PH3、GeH4、Ge2H6、C3、C4 |
| 仪器的最小 检测限（PPb） | 5 | 5 | 5 | 5 | 15 | 5 | 20-30 | 5-10 |
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