近年来，从半导体集成电路开始，(IC)微机电系统是由技术发展而来的(microelectromechnicalsystem，MEMS)技术越来越成熟。微型传感器是目前较成功、较实用的微机电器件，主要包括微型压力传感器和微型加速度传感器；此外，还有微温度传感器、磁场传感器、气体传感器等，大部分面积为1mm2.以下。随着微电子加工技术的进一步发展，特别是纳米加工技术，传感器技术也将从微型传感器发展到纳米传感器。这些微型传感器体积小，可实现许多新功能，便于大规模、高精度生产，单件成本低，易于形成大规模、多功能阵列，非常适合汽车应用。