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青岛迈威微波化学设备有限公司>>>>MCG-M10HBP 微波法气相石墨烯生长炉

MCG-M10HBP 微波法气相石墨烯生长炉

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更新时间:2023-03-18 14:15:16浏览次数:93

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产品简介

产品特点1、本产品采用气相法制备石墨烯材料方式,采用微波热等离子体技术,适合石墨烯原料制备工艺研究和小批量生产

详细介绍

产品特点

1、本产品采用气相法制备石墨烯材料方式,采用微波热等离子体技术,适合石墨烯原料制备工艺研究和小批量生产。
2、本产品等离子生长腔体采用洁净石英管结构,避免生产过程中的杂质污染,确保产品品质。
3、本产品设计连续气相生长功能,采用顶部4路进气混气,底部排料的结构。
4、本产品采用真空和微正压系统设计,反应室与外界密封设计,适合微波等离子体状态。
5、本产品设置真空管路和防爆泄压结构,支持真空、气氛和微正压环境。
6、本产品采用微波等离子体技术,功率智能调节,工艺性更稳定。
7、本产品采用PLC程序控制,触摸屏操作,工艺路线可实现自动化控制,工艺数据可读取。

技术参数

产品名称

气相石墨烯生长炉

型号

MCG-M10HBP

技术原理

微波等离子体(MPCVD)

设备形式

立式管道型,多路气氛,高真空密封

进出料形式

进料:气态/ 出料:固态

反应区尺寸

Φ200*500 mm

微波系统

微波功率10kW/2450MHz,系统水冷

产成品

石墨烯粉体,产量和特性依据具体工艺要求

监控视窗

垂直三个观察窗

控制方式

PLC控制系统,彩色触摸屏操作,多参数显示

安全措施

产品气体管路系统防爆设计

微波防护

微波泄漏量:<5mW/cm2 (国标)

设备外尺寸

900×900×1700mm(长×宽×高)

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