赛默飞 Scios 2 DualBeam双束电镜

产品介绍

Thermo Scientifc ™ Scios ™ 2 DualBeam ™ 系统是一款超高分辨率分析系统，可为泛类型的样品（包括磁性和不导电材料）提供出色的样品制备和三维表征性能。Scios 2 DualBeam 系统创新性的功能设计，优化了其样品处理能力、分析精度和易用性，是满足科学家和工程师在学术、政府和工业研究环境中进行高级研究和分析的理想解决方案。 Scios 2 DualBeam 系统的创新，结合最易于使用、面的 ThermoScientific AutoTEM ™ 4软件（可选）和专业的应用知识，可快速轻松地定位制备各类材料的高分辨S/TEM样品。 为了获得高质量的结果，需要使用低能离子进行精抛，以限度地减少样品的表面损伤。 Thermo Scientific Sidewinder ™ HT聚焦离子束（FIB）镜筒不仅可以在高电压下提供高分辨率成像和刻蚀，而且具有良好的低电压性能，可以制备高质量的TEM薄片。ScientificTrinity ™ 检测技术可同时采集角度和能量选择性SE和BSE图像。无论是将样品竖直或倾斜放置进行观察，亦或者是观察样品截面，都可快速获取最详细的纳米级信息。可选配的透镜下探测器和电子束减速模式可确保快速、轻松地同时采集所有信号，以显示材料表面或截面中的最小特征。依托的NICol镜筒设计和全自动合轴功能，用户可获得快速、准确且可重复的结果。

产品特点

• 使用 Sidewinder HT离子镜筒快速、简便地制备高质量、定位TEM 和原子探针样品。

• Thermo Scientific NICol ™ 电子镜筒可进行超高分辨率成像，满足泛类型样品（包括磁性和不导电材料）的成像需求。

• 各类集成化镜筒内及极靴下探测器，采集优质、锐利、无荷电图像，提供最完整的样品信息。

• 可选AS&V4软件，精确定位感兴趣区域，获取优质、多模态内部和三维信息。

• 高度灵活的110 mm样品台和内置的Thermo Scientific Nav- Cam ™ 相机实现精确样品导航。

• 专用的DCFI、漂移抑制技术和Thermo Scientific SmartScan ™等模式实现无伪影成像和图形加工。

• 灵活的 DualBeam 配置，优化解决方案满足特定应用需求。

参数

电子束

• 电子束流范围：1pA–400nA

• 着陆能量范围： 20* eV - 30 keV

• 加速电压范围：200 V - 30 kV

• 水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作距离下为7.0mm

• 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度

离子光学

• 的大束流Sidewinder离子镜筒

• 加速电压范围：500 V - 30 kV

• 离子束流范围：1.5pA–65nA

• 15 孔光阑

• 标配不导电样品漂移抑制模式

• 离子源寿命至少1,000小时

• 离子束分辨率：30 kV下3.0 nm（采用选边法）

探测器

• Trinity 探测系统（透镜内和镜筒内）

 − T1 分割式透镜内低位探测器

 − T2 透镜内高位探测器

 − T3可伸缩镜筒内探测器*

 − 可同步检测多达四种信号

• ETD–Everhart-Thornley 二次电子探测器

• ICE探测器 - 高性能离子转换和电子探测器，用于采集二次电子和二次离子*

• DBS–可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射电子探测器*

• STEM 3+–可伸缩分割式探测器(BF、DF、HAADF) *

• 样品室红外CCD相机，用于样品台高度观察

• Nav-Cam ™：样品室内彩色光学相机，用于样品导航*

样品台和样品

• 灵活五轴电动样品台：

 -XY范围：110mm

 - Z范围：65mm

• 旋转：360°（连续）

• 倾斜范围：-15°到+90°

• XY重复精度：3μm

• 样品高度：与优中心点间隔85mm

• 样品质量（0°倾斜）：2kg（包括样品托）

• 样品尺寸：可沿X、Y轴旋转时直径为110mm（若样品超出此限值，则样品台行程和旋转会受限）

• 同心旋转和倾斜

• 无油的真空系统

• 样品仓真空（高真空）：< 6.3 x 10 -6 mbar（72小时抽气后）

• 抽气时间：< 3.5 分钟

• 可选低真空模式：样品仓真空可达500Pa

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