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HMPS-2060P微波等离子体CVD设备

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所  在  地成都市

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更新时间:2023-11-09 11:01:34浏览次数:81次

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HMPS-2060P微波等离子体CVD设备 成都纽曼和瑞微波技术有限公司是专业从事微波能、微波等离子体应用技术研发及其设备生产、具有自主知识产权的企业。公司近年已为中科院、中物院、吉林大学、南京大学、四川大学等、宁波晶钻公司、北京沃尔德公司等科研院所、企业以及国外客户提供了近百台MPCVD设备,凭借产品优异的性能和高质量的服务,公司获得用户广泛认可和好评。
性能特点

◆微波反应腔新型设计,功率密度大。
◆产品沉积速率快、沉积质量高。
◆开关型微波电源,微波输出稳定性高。
◆适合光学、电子、工具级金刚石膜或单晶、石墨烯等的沉积,材质表面处理、低温氧化物的生长等。
◆性能*,安全、可靠性强、重现性好,操作简便。
◆多参数实时监测、采集与记录,PLC屏幕控制,多重联锁保护。

技术指标
(1) 型号 HMPS-2060S
(2) 电源 AC380±10% V 三相五线制 50Hz,额定输入<10KVA
(3) 微波输出功率 0.5~6kW 连续可调
(4) 功率稳定度 优于2%
(5) 纹波 ≤1%
(6) 微波频率 2450MHz±50MHz
(7) 测温方式 红外300~1400℃
(8) 极限真空度 6×10-6torr
(9) 腔体内工作压力 7torr~250torr
(10) 样品台 Φ60mm
(11) 样品台轴向调节范围 0-60mm
(12) 工作气氛 五路(可用户定制)
(13) 微波泄漏值 <5mW/cm2
(14) 工作环境 温度15-40℃,相对湿度≤60%,无腐蚀性气体
(15) 冷却水 >22L/Min

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