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详细介绍
MSA-500显微式激光测振仪是一款全新的集多功能于一身的测量工具，可精确测量MEMS三维动态特性。
• 利用激光多普勒测振技术测量物体面外振动特性
• 利用显微镜视频闪频技术测量物体面内振动特性
• 通过白光干涉测量物体形貌特性
• 结合MSA-500和MEMS探测站来测量MEMS设备振动特性
• 利用激光多普勒测振技术测量物体面外振动特性
• 利用显微镜视频闪频技术测量物体面内振动特性
• 通过白光干涉测量物体形貌特性
• 结合MSA-500和MEMS探测站来测量MEMS设备振动特性
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