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详细介绍
GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪 科晶
产品简介：GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪可设定程序，并精确控制温度200ºC-1500ºC（或者1200ºC-1700ºC），可蒸镀直径2"的薄膜样品，样品台可旋转，以获得更均匀的薄膜。可制备各种金属薄膜和有机物薄膜，广泛用于电极的制备和有机物发光LED。| 产品型号 | GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪 |
| 主要特点 | 1、已通过CE认证。 2、采用石英腔体，易于清洁和样品的放入。 3、样品台可旋转，能够使所制薄膜达到更好的均匀性。 4、采用钨丝作为发热源，温度可达到1700℃，并配有专用的氧化铝舟装载样品（仅1600ºC以下使用，若蒸 发温度大于1600ºC，样品应直接放在钨丝篮中）。 5、热电偶安装在坩埚底部，以便于温度测量和控制。 6、可将设备转换到手动调节状态，内部不安装热电偶，直接采用手动调节输出电流大小，发热源温度可达 2000ºC，可达到对样品镀碳等实验要求。 7、可向真空腔体中通入惰性气体，对腔体进行清洗，也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜。 8、进气口配有针阀，用于调节进气流量。 |
| 技术参数 | 1、电压：AC 208V-220V 50Hz/60Hz 单相 2、功率：500W，电流为30A 3、真空腔体：石英腔体，直径Ø6" 4、样品台：直径Ø50mm；可旋转，转速5rpm；与蒸发源间距可调，调节范围60mm-100mm 5、温度：1700ºC 6、热电偶：S型热偶，工作温度200ºC-1500ºC（可选用B型热偶，工作温度1200ºC-1700ºC） 7、控温精度：±1ºC，数显温度控制器，可设置30段升降温程序 8、钨丝篮：2个 9、真空接口：KF40 10、真空计：数显防腐真空计PCG554，测量范围3.8×10-5-1125torr 11、进气接口：1/4NPS |
| 产品规格 | 尺寸：440mm×330mm×630mm |
| 可选配件 | 1、机械泵（带油污过滤器）（真空度<>-2torr，可以蒸发贵金属，如Au、Ag） 2、分子泵（可获得高真空，真空度<>-5torr，蒸发易氧化材料，如Al、Mg、Li等） 3、低真空系统 4、高真空系统 5、等离子清洗机（镀膜前对基片进行清洗，可获得更好的薄膜强度） |
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